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籽晶悬挂构件和晶体生长装置制造方法及图纸
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下载籽晶悬挂构件和晶体生长装置的技术资料
文档序号:44582045
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本申请提供一种籽晶悬挂构件和晶体生长装置,涉及半导体加工技术领域。籽晶悬挂构件用于定位籽晶杆,其包括籽晶夹头和防脱凸起,籽晶夹头设置有定位卡槽和定位缺口,定位卡槽具有相对的第一槽壁和第二槽壁,定位缺口贯穿第一槽壁并连通定位卡槽;防脱凸起安装...
该专利属于成都东骏激光股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都东骏激光股份有限公司授权不得商用。
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