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一种晶体生长炉籽晶杆系统的多点可活动连接与稳固装置制造方法及图纸
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下载一种晶体生长炉籽晶杆系统的多点可活动连接与稳固装置的技术资料
文档序号:14869590
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本实用新型属于晶体生长技术领域,尤其涉及一种晶体生长炉籽晶杆系统的多点可活动连接与稳固装置,包括晶体生长炉的称重头、滑块和籽晶杆,其特征在于:所述装置包括活动球头结构、支撑盘结构和连接结构,活动球头结构位于籽晶杆上端,将称重头和籽晶杆连接;...
该专利属于成都东骏激光股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都东骏激光股份有限公司授权不得商用。
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