【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于扩散焊接领域，更具体地，涉及。
技术介绍
非晶合金是20世纪材料领域的重大发现，材料内部原子排列呈长程无序短程有序结构，没有位错和晶界等缺陷。这种独特的结构使非晶合金材料具有许多优异的性能，如高强度、硬度、耐磨性、耐蚀性、优异的软磁性等，在军事、微/纳制造、体育器材、光通讯、光集成、激光、新型太阳能电池、高效磁性和输电材料等领域有着广泛的应用前景。尤其非晶合金在过冷液相区具有超塑性性能，在一定的温度和压力下，能够很好的复制模具上的各种形状。因此非晶合金零件成形及应用引起广发的关注，未来具有非常广泛的应用前景。然而，现有技术制备多层非晶合金微小零件有一定的困难。微纳尺度的金属模具很难加工，且成形后的脱模也是一个难题。而利用刻蚀的方法虽然能够加工微纳尺度的硅模具。但加工大深宽比的硅模具也比较困难，且大深宽比的微纳零件成形时需要较大的压力，容易导致硅模具破碎。此外，非晶合金很难完全填充大深宽比的模具型腔。因此，非晶合金在多层微纳零件的应用上受到很大限制，很难完全发挥作为新型工程材料具有的实际应用价值
技术实现思路
针对现有技术的缺陷，本专利技术的目的在于提...
【技术保护点】
一种本专利技术真空扩散焊制备多层非晶合金微小零件的方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）对非晶合金材料进行热压成形，以得到非晶合金微小零件；（2）将成形后的非晶合金微小零件研磨去除飞边；（3）对非晶合金微小零件及硅模具进行清洗，具体包括以下子步骤：（3？1）将非晶合金微小零件及硅模具放在丙酮中进行超声波清洗，以去掉表面油脂杂质；（3？2）将非晶合金微小零件及硅模具放在无水乙醇中进行第二次超声波清洗；（3？3）在清洗干净后将非晶合金微小零件及硅模具放在干净的无水乙醇中保存；（4）对非晶合金微小零件及硅模具进行组装固定，具体包括以下子步骤：（4？1）将硅模具保护套套在多层的非晶...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：廖广兰，陈彪，史铁林，喻强，朱志靖，杨璠，张钊博，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：
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