【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种用于硅片清洗的前置机械手，属于机械自动化
技术介绍
目前，在清洗行业中尤其是硅片的清洗，许多的清洗工艺都要求用氢氟酸、硝酸等强酸溶液。负载不大，但对整个机械手装置的防腐要求较高，现有技术的机械手的传动部位没有和强酸环境分离开，容易导致腐蚀，传动不精确，不利于强酸环境的使用。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术的不足，提供一种具有防腐功能的用于硅片清洗的前置机械手。实现本技术目的的技术方案是一种用于硅片清洗的前置机械手，包括防腐框架、固定框和Y轴滑块，防腐框架通过导轨副可滑动地支撑在固定框上，防腐框架上固定有X轴驱动装置和Y轴驱动装置，X轴驱动装置通过齿轮齿条副与固定框相连接，Y轴驱动装置通过滚珠丝杠副与Y轴滑块固定连接，Y轴滑块上固定连接有升降臂，升降臂上固定连接有挂钩装置，滚珠丝杠副安装在防腐框架内，防腐框架上设有防腐折叠布，Y轴滑块和滚珠丝杠副均位于防腐折叠布的一侧，升降臂穿过防腐折叠布，挂钩装置位于防腐折叠布的另一侧，升降臂和齿轮齿条副之间设置有防腐隔离板。进一步，所述的齿轮齿条副由齿轮和齿条组成，齿轮套装在X轴驱动装置的输出轴上，齿条固定在所述的固定框上。进一步，所述的滚珠丝杠副包括丝杠和螺母，丝杠与Y轴驱动装置活动连接，螺母与Y轴滑块固定连接，螺母通过螺纹连接在丝杠上。更进一步，所述的导轨副由圆形直线导轨和滑块组成，圆形直线导轨安装在固定框上，滑块固定连接在防腐框架上。采用了上述技术方案后，Y轴驱动装置带动丝杠转动的同时实现螺母的上下运动，即实现升降臂的Y轴上下运行，X轴驱动装置驱动齿轮转动，从而驱动齿条实现X轴的移动...
【技术保护点】
一种用于硅片清洗的前置机械手，包括防腐框架（1）、固定框（2）和Y轴滑块（3），防腐框架（1）通过导轨副可滑动地支撑在固定框（2）上，防腐框架（1）上固定有X轴驱动装置（4）和Y轴驱动装置（5），X轴驱动装置（4）通过齿轮齿条副与固定框（2）相连接，Y轴驱动装置（5）通过滚珠丝杠副与Y轴滑块（3）固定连接，Y轴滑块（3）上固定连接有升降臂（6），升降臂（6）上固定连接有挂钩装置（7），其特征在于：滚珠丝杠副安装在防腐框架（1）内，防腐框架（1）上设有防腐折叠布（8），Y轴滑块（3）和滚珠丝杠副均位于防腐折叠布（8）的一侧，升降臂（6）穿过防腐折叠布（8），挂钩装置（7）位于防腐折叠布（8）的另一侧，升降臂（6）和齿轮齿条副之间设置有防腐隔离板（9）。
【技术特征摘要】
1.一种用于硅片清洗的前置机械手，包括防腐框架(I)、固定框(2)和Y轴滑块(3)，防腐框架(I)通过导轨副可滑动地支撑在固定框(2)上，防腐框架(I)上固定有X轴驱动装置(4)和Y轴驱动装置(5)，X轴驱动装置(4)通过齿轮齿条副与固定框(2)相连接，Y轴驱动装置(5)通过滚珠丝杠副与Y轴滑块(3)固定连接，Y轴滑块(3)上固定连接有升降臂(6)，升降臂(6)上固定连接有挂钩装置(7)，其特征在于滚珠丝杠副安装在防腐框架(I)内，防腐框架(I)上设有防腐折叠布(8)，Y轴滑块(3)和滚珠丝杠副均位于防腐折叠布(8)的一侧，升降臂(6)穿过防腐折叠布(8)，挂钩装置(7)位于防腐折叠布(8)的另一侧，升降臂(6)和齿轮齿条副之间设置有防...
【专利技术属性】
技术研发人员：李继忠，
申请(专利权)人：常州市科沛达超声工程设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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