压电元件及压电元件的制造方法技术

本发明专利技术涉及一种压电元件以及压电元件的制造方法。压电元件包括：含有引出电极的压电振动片、基底板及非导电性的接合材料。基底板包括：从自安装面至接合面的侧面起朝向内侧凹陷的一对城堡形部分。所述一对城堡形部分包括：第1面及第2面。第1面是从所述安装面起朝向所述接合面侧延伸至外侧。第2面是从所述接合面起朝向所述安装面延伸至外侧。第2面的面积小于所述第1面的面积。配线电极形成于所述第1面、所述第2面及所述接合材料的侧面。配线电极为：与所述外部电极相同的电极层，从所述外部电极延伸至所述引出电极为止。

【技术实现步骤摘要】
压电元件及压电元件的制造方法本申请案主张在2011年8月5日，向日本专利局提出申请的日本专利申请书第2011-171423号的优先权，该专利申请书所揭示的内容完整并入于本说明书中。
本专利技术涉及一种压电元件(piezoelectricdevice)的制造方法，形成于城堡形部分(castellation)的配线电极是：经由接合材料的侧面而延伸至压电片的引出电极为止。而且，本专利技术还涉及一种利用所述方法而制造的压电元件。
技术介绍
具有以规定的振动数进行振动的压电振动片的压电元件已经为人们所知。所述压电元件是由基底板及盖板所夹持而形成。所述压电元件中，在基底板的侧面形成城堡形部分。形成于城堡形部分的配线电极将安装端子与激振电极电性连接。例如，日本专利特开平6-343017号公报揭示了如下的压电元件。所述压电元件中，在基底板上形成有通孔(throughhole)。在通孔中形成有电极。所述电极将形成于基底板表面的电极、与形成于基底板背面的电极相互电性接合。通孔是从基底板的表面及背面进行蚀刻(etching)而形成。借此，以向基底板的外侧突出的方式，而形成通孔的中间部。即，通孔的中间部的直本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电元件，其特征在于包括：压电振动片，包括：一对激振电极、及从该一对激振电极引出的一对引出电极；基底板，包括：含有一对外部电极的安装面、及配置所述压电振动片的接合面，且形成自侧面起朝向内侧凹陷的一对城堡形部分，所述侧面是从所述安装面至所述接合面，所述基底板包含玻璃或压电材料；以及非导电性的接合材料，配置于所述压电振动片与所述基底板之间，将所述压电振动片与所述基底板加以接合；所述一对城堡形部分包括：第1面，从所述安装面起朝向所述接合面侧而延伸至外侧；以及第2面，从所述接合面起朝向所述安装面侧而延伸至外侧，且所述第2面的面积小于所述第1面的面积；且形成于所述第1面、所述第2面及所述接合材料的侧...

【技术特征摘要】
2011.08.05 JP 2011-1714231.一种压电元件，其特征在于包括：压电振动片，包括：一对激振电极、及从该一对激振电极引出的一对引出电极；基底板，包括：含有一对外部电极的安装面、及配置所述压电振动片的接合面，且形成自侧面起朝向内侧凹陷的一对城堡形部分，所述侧面是从所述安装面至所述接合面，所述基底板包含玻璃或压电材料；以及非导电性的接合材料，配置于所述压电振动片与所述基底板之间，将所述压电振动片与所述基底板加以接合；所述一对城堡形部分包括：第1面，从所述安装面起朝向所述接合面侧而延伸至外侧；以及第2面，从所述接合面起朝向所述安装面侧而延伸至外侧，且所述第2面的面积小于所述第1面的面积；且形成于所述第1面、所述第2面及所述接合材料的侧面的配线电极为与所述外部电极相同的电极层，且所述配线电极从所述外部电极延伸至所述引出电极为止。2.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于：所述一对城堡形部分包括：突起面，配置于所述第1面与所述第2面之间，且比所述第1面及所述第2面更向所述基底板的外侧突出。3.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于：所述配线电极分别形成于各个所述城堡形部分的中央区域，所述城堡形部分与所述基底板的侧面相连接的所述城堡形部分的端部是：露出了所述玻璃或所述压电材料。4.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于：所述基底板为具有长边及短边的矩形形状，所述城堡形部分具有第1形状与第2形状的至少一种形状，所述第1形状是：只在所述短边上沿短边方向延伸的形状，所述第2形状是：从所述短边与所述长边相交的角部沿所述短边方向延伸的形状。5.一种压电元件的制造方法，制造根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于包括：准备基底晶圆的步骤，所述基底晶圆包括多个基底板，所述基底板含有：形成外部电极的安装面、及该安装面的相反侧的接合面，且...

【专利技术属性】
技术研发人员：水沢周一，高桥岳宽，
申请(专利权)人：日本电波工业株式会社，
类型：发明
国别省市：