压电振动元件、具有压电振动元件的压电装置及电子设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种压电振动元件、具有压电振动元件的压电装置及电子设备。压电基板(7)具有：振动臂(15a)、(15b)；对振动臂的一侧端部之间进行连接的基部(10)；分别被形成在振动臂(15a)、(15b)的另一侧端部，宽度较宽且形成了第一槽部(22a)～(24b)的锤部(20a)、(20b)；沿着振动臂(15a)、(15b)的振动中心线而被形成的第二槽部(17a)～(18b)，其中，弯曲-扭曲结合振动被激励。本实用新型专利技术的压电振动元件(1)以被激励的弯曲-扭曲结合振动中的弯曲振动为主振动，并分别设定压电基板(7)的切割角度、第一槽部以及第二槽部的宽度和深度、以及振动臂的厚度，以使其频率温度特性成为关于温度的三次特性。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及压电振动元件、振动陀螺元件等，特别是涉及实现了小型化且改善了频率温度特性的压电振动元件、压电振子、压电振荡器、振动陀螺元件、振动陀螺传感器以及使用这些元件的电子设备。
技术介绍
一直以来，对于便携式计算机、硬盘驱动器等小型信息设备和手机等的移动体通信设备中，作为标准频率源而广泛地使用压电装置。随着搭载压电装置的电子设备的小型化的发展，要求进一步使压电装置小型化。 在专利文献I中，公开了一种绕水晶的电轴(结晶轴之一)在O到-15°的范围内切割出的音叉型水晶振子。通过使在音叉型水晶振子中被激励的弯曲振动模式、扭曲振动模式各自的共振频率fF、fT相互接近且结合,从而成为改善了主振动的弯曲振动模式的频率温度特性的水晶振子。一般情况下，水晶振子的频率温度特性Af/f，以关于温度的多项式来表示，但实际上由三次式近似，其一次项系数 三次项系数由α、β、Y表示。弯曲振动模式的频率温度特性TfF，受扭曲振动模式的影响，而依赖于压电基板h。对于各种切割角度Θ，设定厚度h，以使一次项系数α =0，而且根据通过预先计算而求出的值来设定二次项系数β成为零的切割角度Θ和厚度h。由此，公开了下述内容，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电振动元件，其特征在于，包括：多个振动臂；基部，其对各个该振动臂的一侧端部之间进行连接；锤部，其分别与各个所述振动臂的另一侧端部相连接，且宽度宽于各个该振动臂的另一侧端部的宽度；压电基板，其至少具有：在所述锤部的表面以及背面中的至少一个面上沿着所述振动臂的长度方向延伸的第一槽部、以及分别存在于各个所述振动臂的表背面的第二槽部，所述压电振动元件进行频率温度特性为关于温度的三次特性的弯曲？扭曲结合振动。

【技术特征摘要】
2011.02.25 JP 2011-039519;2011.03.04 JP 2011-04721.一种压电振动元件，其特征在于， 包括多个振动臂；基部，其对各个该振动臂的一侧端部之间进行连接；锤部，其分别与各个所述振动臂的另一侧端部相连接，且宽度宽于各个该振动臂的另一侧端部的宽度；压电基板，其至少具有在所述锤部的表面以及背面中的至少一个面上沿着所述振动臂的长度方向延伸的第一槽部、以及分别存在于各个所述振动臂的表背面的第二槽部， 所述压电振动元件进行频率温度特性为关于温度的三次特性的弯曲-扭曲结合振动。2.如权利要求I所述的压电振动元件，其特征在于， 所述基部包括基部主体，其具有与所述振动臂的所述一侧端部相连接的一端；连结部，其连接于与所述一端对置的一侧的另一端；支承臂，其通过该连结部而被连接，且远离所述基...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本隆伸，山田明法，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：实用新型
国别省市：