宽带声耦合薄膜BAW滤波器制造技术

在基于压电薄膜上的横向声耦合的谐振器的体声波（BAW）滤波器中，能够使用不同属性的两种不同的声板波模式，例如厚度伸缩（纵向）TE1和第二简谐厚度切变（TS2）模式来形成带通响应。本发明专利技术基于属于便于传输信号的不同的板波模式的至少两个横向驻波谐振的激励。通带通过裁剪设备中的波的传播特性来设计，使得谐振在适合的频率下被激励以形成所期望的形状的通带。此处描述的滤波器的带宽因此能够为现有技术中的微声滤波器的带宽的两倍多。因此，具有显著的商业和技术价值。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：约翰娜·梅尔陶斯，图奥马斯·彭萨拉，
申请(专利权)人：芬兰国家技术研究中心，
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