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宽带声耦合薄膜BAW滤波器制造技术
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文档序号:8194287
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在基于压电薄膜上的横向声耦合的谐振器的体声波(BAW)滤波器中,能够使用不同属性的两种不同的声板波模式,例如厚度伸缩(纵向)TE1和第二简谐厚度切变(TS2)模式来形成带通响应。本发明基于属于便于传输信号的不同的板波模式的至少两个横向驻波谐...
该专利属于芬兰国家技术研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过芬兰国家技术研究中心授权不得商用。
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