多晶硅铸锭炉测温装置制造方法及图纸

一种多晶硅铸锭炉测温装置，设置在多晶硅铸锭炉内部的下半部分，包括：热场件、热交换台底部保温层、闷盖、测温装置；测温装置包括：外套杆、内套杆、热电偶、锁紧套杆、信号输出端子；作业过程中，通过热场件的加热，使得热电偶将信号通过信号输出端子传递给PLC，PLC通过控制程序显示出温度值，可以测量到热场内部温度；便于作业人员及时调节工艺参数，保证硅锭能正常生长。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及多晶硅锭的制造装置，特别涉及一种多晶硅铸锭炉测温装置。
技术介绍
多晶硅铸锭炉是多晶硅料转化为多晶硅锭工艺过程中的必备设备，而多晶硅锭经工艺处理后又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。多晶硅锭作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的多晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。在多晶硅铸锭炉铸锭过程中，需要实时的测量热场的温度，便于作业人员及时调节工艺参数，保证硅锭能正常生长。现有的多晶硅铸锭炉，都不采用热电偶测温，容易造成测温不准确，生产成本高等现象。
技术实现思路
鉴于此，有必要设计一种多晶硅铸锭炉测温装置。一种多晶硅铸锭炉测温装置，设置在多晶硅铸锭炉内部的下半部分，包括热场件、热交换台底部保温层、闷盖、测温装置；其中，热场件、热交换台底部保温层通过支撑杆固定在下腔体上，闷盖设置在多晶硅铸锭炉下腔体的中心处，在闷盖上开有通孔，在多晶硅铸锭炉内部并且垂直正对该孔的热场件、热交换台底部保温层也开有通孔，测温装置穿过并固定在上述三处通孔位置，测温装置的顶部接触石墨坩埚底板。优选的，测温装置包括外套杆、内套杆、热电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅铸锭炉测温装置，其特征在于，包括：热场件、热交换台底部保温层、闷盖、测温装置；其中，闷盖设置在多晶硅铸锭炉下腔体的中心处，在闷盖上开有通孔，在多晶硅铸锭炉内部并且垂直正对该孔的热场件、热交换台底部保温层也开有通孔，测温装置穿过并固定在上述三处通孔位置，测温装置的顶部接触石墨坩埚底板。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴学军，周凯平，
申请(专利权)人：宁夏日晶新能源装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：