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一种多晶硅铸锭炉测温装置,设置在多晶硅铸锭炉内部的下半部分,包括:热场件、热交换台底部保温层、闷盖、测温装置;测温装置包括:外套杆、内套杆、热电偶、锁紧套杆、信号输出端子;作业过程中,通过热场件的加热,使得热电偶将信号通过信号输出端子传递给...该专利属于宁夏日晶新能源装备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁夏日晶新能源装备股份有限公司授权不得商用。
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一种多晶硅铸锭炉测温装置,设置在多晶硅铸锭炉内部的下半部分,包括:热场件、热交换台底部保温层、闷盖、测温装置;测温装置包括:外套杆、内套杆、热电偶、锁紧套杆、信号输出端子;作业过程中,通过热场件的加热,使得热电偶将信号通过信号输出端子传递给...