一种实现多晶硅铸锭炉冷却的方法及冷却装置制造方法及图纸

技术编号:8297918 阅读:157 留言:0更新日期:2013-02-06 23:06
本发明专利技术公开一种实现多晶硅铸锭炉冷却的方法,基于现有结构的铸锭炉,将铸锭炉内的隔热笼结构进行改进;第一步,首先在铸锭炉的隔热笼内增加一隔温装置,将隔热笼内形成两个封闭的腔室;第二步,然后在其中上腔室内设有上加热器、坩埚和下加热器,通过关闭隔温装置,启动上加热器和下加热器同时加热,使坩埚内的硅料熔化;第三步,在隔温装置下方设有换热装置;第四步,控制隔温装置开口的大小来控制冷气量,控制晶硅均匀生长。该冷却方法通过隔热门,巧妙地将炉内冷热分隔开;该方法通过控制上下加热器的功率,形成上下温度梯度,通过打开隔热门的每层可以控制开口的大小来控制通气量,控制冷却速度;该方法结构简单,操作方便。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及多晶硅生产
,尤其涉及一种实现多晶硅铸锭炉冷却的方法及冷却装置
技术介绍
现有技术中太阳能电池板主要采用多晶硅制成,然而多晶硅的制作过程是首先在铸锭炉内将多晶硅原料加热熔化,然后对坩埚内多晶硅原料进行降温、冷却凝固形成多晶硅锭。上述技术中生产多晶硅锭,主要包括以下几个阶段熔化、定向结晶、退火、冷却。多晶硅锭的生长过程中冷却最为重要,多采用通过调节加热器的功率,调节底部热交换台的接触距离进行降温,以便控制硅锭生长速度和生长方向。·还用通过设置循环盘管制冷装置于坩埚底部,当坩埚加热结束后,通过启动制冷装置循环冷媒主动将坩埚底部开始冷却。上述制冷方式中都无法控制坩埚的冷却位置,也无法控制坩埚内多晶硅的生长方向,跟不能控制多晶硅的均匀度,生产出来的多晶硅锭品质差,废料多,生产率低。现有铸锭炉如图I所示,申请号为=201010176628. 9的中国专利,具体公开的是双腔体隔热笼的晶硅铸锭炉。然而一种设有隔温装置的多晶硅铸锭炉的冷却方法及冷却装置尚未见报导。
技术实现思路
为解决现有的技术问题,本专利技术的目的是提供一种能广出闻品质多晶娃淀的实现多晶硅铸锭炉冷却的方法及冷却本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种实现多晶硅铸锭炉冷却的方法,基于现有结构的铸锭炉,其特征在于:将铸锭炉内的隔热笼结构进行改进;第一步,首先在铸锭炉的隔热笼内增加一隔温装置,将隔热笼内形成两个封闭的腔室;第二步,然后在其中上腔室内设有上加热器、坩埚和下加热器,通过关闭隔温装置,启动上加热器和下加热器同时加热,使坩埚内的硅料熔化;第三步,在隔温装置下方设有换热装置;第四步,控制隔温装置开口的大小来控制冷气量,控制晶硅均匀生长。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:樊海艳
申请(专利权)人:沈阳森之洋光伏科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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