【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及多晶硅铸锭炉热场设备领域，尤其是一种保持固液界面水平的多晶硅铸锭炉坩埚保温装置。
技术介绍
目前常用的多晶硅铸锭炉热场结构如图I所示，由保温碳毡制成的固定式顶部隔热板、可升降式侧面隔热筒和固定式底部隔热板组成隔热笼，热交换台放于隔热笼内的立 柱上，装满硅料的陶瓷坩埚的底部及四周用石墨板保护。在硅料熔化阶段，侧面隔热筒降至零位，隔热笼完全封闭，通过加侧面热器和顶部加热器对坩埚内的硅料进行加热直至硅料完全熔化，然后进入晶体生长阶段，通过提升侧隔热筒，使热量从隔热笼底部流出，从而降低热场底部温度，获得晶体生长所需的从上向下降低的温度梯度。这种热交换方式的不足之处在于热交换台一般为实心的石墨体，厚度通常在120mm到160mm之间，其热交换能力很低，而陶瓷坩埚和石墨坩埚都很薄，相应的散热能力高于热交换台，以至于晶体生长时需要散失的热量主要通过四周的坩埚壁和石墨坩埚向外扩散，这将导致靠近四周坩埚的硅熔体温度降低的速率远大于坩埚底部的硅熔体，导致横向存在温度梯度，使得坩埚内的固液界面无法保持水平，晶体无法沿竖直方向由下向上生长，晶体质量较差。
技术实现思路
本专利...
【技术保护点】
一种保持固液界面水平的多晶硅铸锭炉坩埚保温装置，它主要包括陶瓷坩埚，其特征是在陶瓷坩埚外部包裹设有顶部隔热板、侧面隔热筒和底部隔热板，在陶瓷坩埚侧边设有石墨护板，石墨护板与陶瓷坩埚紧贴设置，在陶瓷坩埚底部设有热交换台，热交换台设有在立柱上，立柱穿过底部隔热板，起支撑固定作用，在石墨护板外侧设有侧面加热器，在陶瓷坩埚顶部上空设有顶部加热器，在陶瓷坩埚顶面设有坩埚盖板。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：甘新式，
申请(专利权)人：嘉兴嘉晶电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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