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保持固液界面水平的多晶硅铸锭炉坩埚保温装置制造方法及图纸
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下载保持固液界面水平的多晶硅铸锭炉坩埚保温装置的技术资料
文档序号:8239501
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本发明所设计的一种保持固液界面水平的多晶硅铸锭炉坩埚保温装置,它主要包括陶瓷坩埚,在陶瓷坩埚外部包裹设有顶部隔热板、侧面隔热筒和底部隔热板,在陶瓷坩埚侧边设有石墨护板,石墨护板与陶瓷坩埚紧贴设置,在陶瓷坩埚底部设有热交换台,热交换台设有在立...
该专利属于嘉兴嘉晶电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过嘉兴嘉晶电子有限公司授权不得商用。
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