一种用于多晶硅铸锭炉的冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种用于多晶硅铸锭炉的冷却装置，将加热笼内设置有一隔温门，该隔温门将加热笼分为上下两个腔室；所述上腔室为加热室，于上腔室内顶部设有上加热器，中部设有坩埚，下部设有下加热器，用于对坩埚内的硅料快速熔化；所述下腔室为制冷室，于下腔室内底部设有换热装置，用于对坩埚匀速、均匀降温，以便实现多晶硅均匀定向生长。该装置结构简单，操作方便，通过隔热门，巧妙地将炉内冷热分隔开，形成上下温度梯度，通过控制隔热门的开口大小、速度来控制多晶硅的冷却速度。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅生产
，尤其涉及一种用于多晶硅铸锭炉的冷却装置。
技术介绍
现有技术中太阳能电池板主要采用多晶硅制成，然而多晶硅的制作过程是首先在铸锭炉内将硅原料加热熔化，然后对坩埚内硅原料进行降温、冷却凝固形成多晶硅锭。上述技术中生产多晶硅锭，主要包括以下几个阶段熔化、定向结晶、退火、冷却。多晶硅锭的生长过程中冷却最为重要，多采用通过调节加热器的功率，调节加热笼与底部热交换台的接触距离进行降温，以便控制硅锭生长速度和生长方向。·还用通过设置循环盘管制冷装置于坩埚底部，当坩埚加热结束后，通过启动制冷装置循环冷媒主动将坩埚底部开始冷却。上述制冷方式中都无法控制坩埚的冷却位置，也无法理想控制坩埚内多晶硅的垂直液面生长方向，更不能控制多晶硅的理想生长速度，生产出来的多晶硅锭品质差，废料多，生产效率低。现有铸锭炉如图I所示，申请号为201010176628. 9的中国专利，具体公开的是双腔体隔热笼的晶硅铸锭炉。然而一种设有隔热门的多晶硅铸锭炉的冷却方法及冷却装置尚未见报导。
技术实现思路
为解决现有的技术问题，本技术的目的是提供一种能广出闻品质多晶娃淀的多晶硅铸锭炉的冷却装置。为实现上述目的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于多晶硅铸锭炉的冷却装置，其特征在于：将加热笼内设置有一隔温门，该隔温门将加热笼分为上下两个腔室；所述上腔室为加热室，于上腔室内顶部设有上加热器，中部设有坩埚，下部设有下加热器，用于对坩埚内的硅料快速熔化；所述下腔室为制冷室，于下腔室内底部设有换热装置，用于对坩埚匀速、均匀降温，以便实现多晶硅均匀定向生长。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：樊海艳，
申请(专利权)人：沈阳森之洋光伏科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：