下载一种用于多晶硅铸锭炉的冷却装置的技术资料

文档序号:8283653

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本实用新型公开一种用于多晶硅铸锭炉的冷却装置,将加热笼内设置有一隔温门,该隔温门将加热笼分为上下两个腔室;所述上腔室为加热室,于上腔室内顶部设有上加热器,中部设有坩埚,下部设有下加热器,用于对坩埚内的硅料快速熔化;所述下腔室为制冷室,于下腔...
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