【技术实现步骤摘要】
带有夹紧法兰的多晶炉腔体升降装置
:本技术涉及多晶硅锭的制造装置,特别涉及一种带有夹紧法兰的多晶炉腔体升降装置。
技术介绍
:多晶炉是多晶硅料转化为多晶硅锭工艺过程中的必备设备,而多晶硅锭经工艺处理后又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。多晶硅锭作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的多晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。多晶炉工作时,在铸锭前,先利用升降机构将下炉体下降,打开炉腔,把装好硅料的坩埚送入炉内,然后,升降机构再带动下炉体上升,关闭炉腔,进行铸锭作业;铸锭作业完毕后,下炉体下降,打开炉腔,取出铸好的硅锭。现有带有夹紧法兰的多晶炉腔体升降装置其软轴结构和驱动箱的连接不牢固,多采用如图广图3的方式,即:软轴4与联轴器连接,在软轴4的两端通过挂钩5提拉软轴4,挂钩5顶端固定在支架I上,支架I 一端焊接在驱动箱2或驱动箱3上。这种结构使软轴作业一段时间后,容易出现软轴脱落,从而安全系数低。
技术实现思路
:鉴于此,有必要设计一种软轴结构连接端连接牢固的带有夹紧法兰的多晶炉腔体升降装置。一种带有夹紧法兰的多晶炉腔体升降装置,包括:软轴、联轴器、三个螺旋升降机、两个侧驱动箱、中部驱动箱、驱动电机;三个螺旋升降机的动力输入端一一对应安装在两个侧驱动箱和一中部驱动箱上,螺旋升降机的丝杆输出端与下炉体相连,驱动电机安装固定在中部驱动箱一侧并通过传动装置与中部驱动箱的螺旋升降机相连,三个螺旋升降机通过软轴和联轴器连为一体且形成一个非闭合的环形;带有夹紧法兰的多晶炉腔体升降装置还包括软轴法兰, ...
【技术保护点】
一种带有夹紧法兰的多晶炉腔体升降装置,包括:软轴、联轴器、三个螺旋升降机、两个侧驱动箱、中部驱动箱、驱动电机;三个螺旋升降机的动力输入端一一对应安装在两个侧驱动箱和一中部驱动箱上,螺旋升降机的丝杆输出端与下炉体相连,驱动电机安装固定在中部驱动箱一侧并通过传动装置与中部驱动箱的螺旋升降机相连,三个螺旋升降机通过软轴和联轴器连为一体且形成一个非闭合的环形;其特征在于:带有夹紧法兰的多晶炉腔体升降装置还包括软轴法兰,软轴法兰固定在侧驱动箱和中部驱动箱的软轴连接端一侧上,软轴法兰内壁夹持固定软轴与联轴器连接端的轴套。?2.如权利要求1所述的带有夹紧法兰的多晶炉腔体升降装置,其特征在于:固定在侧驱动箱上的软轴法兰通过法兰侧壁与安装在侧驱动箱上的补强板连接固定。3.如权利要求1所述的带有夹紧法兰的多晶炉腔体升降装置,其特征在于:带有夹紧法兰的多晶炉腔体升降装置还包括支架;支架安装在中部驱动箱两侧;固定在中部驱动箱上的软轴法兰通过法兰侧壁上的弯折面与支架连接固定。4.?如权利要求1所述的带有夹紧法兰的多晶炉腔体升降装置,其特征在于:带有夹紧法兰的多晶炉腔体升降装置还包括电磁刹车器;电磁刹车器安装在侧 ...
【技术特征摘要】
1.一种带有夹紧法兰的多晶炉腔体升降装置,包括:软轴、联轴器、三个螺旋升降机、两个侧驱动箱、中部驱动箱、驱动电机;三个螺旋升降机的动力输入端一一对应安装在两个侧驱动箱和一中部驱动箱上,螺旋升降机的丝杆输出端与下炉体相连,驱动电机安装固定在中部驱动箱一侧并通过传动装置与中部驱动箱的螺旋升降机相连,三个螺旋升降机通过软轴和联轴器连为一体且形成一个非闭合的环形;其特征在于:带有夹紧法兰的多晶炉腔体升降装置还包括软轴法兰,软轴法兰固定在侧驱动箱和中部驱动箱的软轴连接端一侧上,软轴法兰内壁夹持固定软轴与联轴器连接端的轴套。2.如权利要求1所述的带有夹紧法兰的多晶炉腔体升...
【专利技术属性】
技术研发人员:吕金龙,吴学军,周凯平,
申请(专利权)人:宁夏日晶新能源装备股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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