铸锭炉及其侧板装置制造方法及图纸

技术编号:8784931 阅读:169 留言:0更新日期:2013-06-10 00:03
本实用新型专利技术公开了一种铸锭炉及其侧板装置,公开的侧板装置包括周向夹持坩埚且首尾相连的若干侧板,相邻侧板拼接角度小于180度;侧板沿坩埚的周向具有至少一个气体通道,坩埚内的惰性气体经气体通道流出坩埚的内腔,气体通道靠近相邻侧板的连接处。惰性气体在坩埚的内腔中沿相邻侧板的连接处流出坩埚,对惰性气体的流向起疏导作用,改变传统的惰性气体流通方向,将惰性气体从热点处导出,温度较低的惰性气体不仅可以给热点降温,减小硅液内部局部过热情况的发生。同时,惰性气体可以快速带走热点处挥发的杂质,使聚集在热点处的杂质经气体通道尽快流出坩埚,最终达到平衡热场,稳定晶体生产速度,提高硅锭品质的目的。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能光伏电池制造领域,特别是涉及一种用于铸锭炉的侧板装置,此外,本技术还涉及一种包括上述侧板装置的铸锭炉。
技术介绍
目如太阳能光伏电池制造中,所用电池娃基片90%左右为多晶娃片,少量娃基片为类单晶硅基片,切割这两种硅片的硅锭均为定向生长法铸锭所生产。多晶铸锭生产过程主要是将硅料盛放在石英坩埚内,在铸锭炉中通过加热器加热,硅料在坩埚内经历由固态到液态再到固态的相变过程。由于硅料完全熔化时温度较高,一般在1560°C左右,而石英坩埚一般在超过1200°C时就会变软,此时石英坩埚需要足够强度的支撑,石墨侧板的主要作用就是支撑石英坩埚,防止其变形破裂。请参考图1,图1为现有技术中一种典型铸锭炉的结构示意图。铸锭炉中有石墨侧板11、石墨顶板12、侧部加热器13、石英坩埚14、顶部加热器15、氩气进气管16、通气孔17、硅液18、隔热笼19,其中,硅料装在石英坩埚14内,铸锭炉内部热场结构为利用顶部加热器15加热模式对硅料进行加热,石英坩埚14的外周有石墨侧板11,石墨侧板11的顶部设有石墨顶板12,石墨侧板11的外部还设有侧部加热器13,氩气进气管16从石墨顶板12穿透进入石英本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于铸锭炉的侧板装置,包括周向夹持坩埚且首尾相连的若干侧板,相邻所述侧板拼接角度小于180度;所述侧板沿所述坩埚的周向具有至少一个气体通道,所述坩埚内的惰性气体经所述气体通道流出所述坩埚的内腔,其特征在于,所述气体通道靠近相邻所述侧板的连接处。

【技术特征摘要】
1.一种用于铸锭炉的侧板装置,包括周向夹持坩埚且首尾相连的若干侧板,相邻所述侧板拼接角度小于180度;所述侧板沿所述坩埚的周向具有至少一个气体通道,所述坩埚内的惰性气体经所述气体通道流出所述坩埚的内腔,其特征在于,所述气体通道靠近相邻所述侧板的连接处。2.根据权利要求1所述的用于铸锭炉的侧板装置,其特征在于,所述侧板的一端上部设有凹槽,所述凹槽形成所述气体通道。3.根据权利要求2所述的用于铸锭炉的侧板装置,其特征在于,所述凹槽为弧形槽,其深度向靠近所述连接处逐渐增加。4.根据权利要求3所述的用于铸锭炉的侧板装置,其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐春良
申请(专利权)人:英利能源中国有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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