铸锭炉及其侧板装置制造方法及图纸

技术编号:8784931 阅读:154 留言:0更新日期:2013-06-10 00:03
本实用新型专利技术公开了一种铸锭炉及其侧板装置,公开的侧板装置包括周向夹持坩埚且首尾相连的若干侧板,相邻侧板拼接角度小于180度;侧板沿坩埚的周向具有至少一个气体通道,坩埚内的惰性气体经气体通道流出坩埚的内腔,气体通道靠近相邻侧板的连接处。惰性气体在坩埚的内腔中沿相邻侧板的连接处流出坩埚,对惰性气体的流向起疏导作用,改变传统的惰性气体流通方向,将惰性气体从热点处导出,温度较低的惰性气体不仅可以给热点降温,减小硅液内部局部过热情况的发生。同时,惰性气体可以快速带走热点处挥发的杂质,使聚集在热点处的杂质经气体通道尽快流出坩埚,最终达到平衡热场,稳定晶体生产速度,提高硅锭品质的目的。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能光伏电池制造领域,特别是涉及一种用于铸锭炉的侧板装置,此外,本技术还涉及一种包括上述侧板装置的铸锭炉。
技术介绍
目如太阳能光伏电池制造中,所用电池娃基片90%左右为多晶娃片,少量娃基片为类单晶硅基片,切割这两种硅片的硅锭均为定向生长法铸锭所生产。多晶铸锭生产过程主要是将硅料盛放在石英坩埚内,在铸锭炉中通过加热器加热,硅料在坩埚内经历由固态到液态再到固态的相变过程。由于硅料完全熔化时温度较高,一般在1560°C左右,而石英坩埚一般在超过1200°C时就会变软,此时石英坩埚需要足够强度的支撑,石墨侧板的主要作用就是支撑石英坩埚,防止其变形破裂。请参考图1,图1为现有技术中一种典型铸锭炉的结构示意图。铸锭炉中有石墨侧板11、石墨顶板12、侧部加热器13、石英坩埚14、顶部加热器15、氩气进气管16、通气孔17、硅液18、隔热笼19,其中,硅料装在石英坩埚14内,铸锭炉内部热场结构为利用顶部加热器15加热模式对硅料进行加热,石英坩埚14的外周有石墨侧板11,石墨侧板11的顶部设有石墨顶板12,石墨侧板11的外部还设有侧部加热器13,氩气进气管16从石墨顶板12穿透进入石英坩埚14内,再经过石墨侧板11上的通气孔17流出。因此,石墨侧板11的另一个作用是能够疏导氩气的流向。氩气通过进气管16从硅锭正上方通入,吹到硅液18的表面,由于石墨顶板12的阻碍,气体向四周散开,通过石墨侧板11上的通气孔17或垛口排除,氩气可以带走硅液中挥发的杂质。请参考图2和图3,图2为现有技术中通孔型石墨侧板的结构不意图;图3为现有技术中垛口型石墨侧板的结构示意图。使用传统的石墨侧板11,无论是通孔型111还是垛口型112,氩气从垛口或通孔流出,由于四周是对称的,氩气在四周也都是均匀对称流出。在铸锭炉热场中,由于加热器结构的不对称性以及三相电流的不平衡,使得热场存在不平衡,结果导致硅液18表面的温度出现局部温度高于其他部位的点,杂质在分凝过程中会逐渐向这些过热点聚集,在凝固之后最终形成疙瘩状突起,即热点。热点的存在会影响硅锭上下的温度梯度,影响晶体的生长速度以及杂质的分凝效果,严重时会降低该处硅块的利用率。生产中发现,铸锭炉中形成的热点主要出现在硅锭的角部。传统的石墨侧板11,无论是通孔型111还是垛口型112,都不能起到针对热点处的冷却及排杂的作用。因此,如何对铸锭炉中的热点处进行有效地冷却和排杂,提高硅锭的品质,是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于铸锭炉的侧板装置,该侧板装置能有效提高铸锭炉对热点处进行冷却和排杂的能力;此外,本技术还提供一种包括上述侧板装置的铸淀炉,该铸淀炉能有效提闻娃淀的品质。为实现上述技术目的,本技术提供一种用于铸锭炉的侧板装置,包括周向夹持坩埚且首尾相连的若干侧板,相邻所述侧板拼接角度小于180度;所述侧板沿所述坩埚的周向具有至少一个气体通道,所述坩埚内的惰性气体经所述气体通道流出所述坩埚的内腔,所述气体通道靠近相邻所述侧板的连接处。优选地,所述侧板的一端上部设有凹槽,所述凹槽形成所述气体通道。优选地,所述凹槽为弧形槽,其深度向靠近所述连接处逐渐增加。优选地,所述侧板为石墨平板。优选地,所述惰性气体为氩气。优选地,各所述侧板的尺寸相同,各所述侧板的一端上部均设有所述气体通道。优选地,所述侧板的数目为四块,各所述侧板的一端均设有所述气体通道。本技术还提供一种铸锭炉,包括设于热场内的坩埚、与所述坩埚的内腔连通的惰性气体进气管,以及周向夹持所述坩埚的侧板装置,所述侧板装置为如上述任一项所述的侧板装置。本技术提供一种用于铸锭炉的侧板装置,铸锭炉包括设于热场内的坩埚、与所述坩埚的内腔连通的惰性气体进气管,侧板装置包括首尾相接且周向夹持所述坩埚的若干侧板,相邻所述侧板拼接角度小于180度;所述侧板沿所述坩埚的周向具有至少一个气体通道,所述坩埚内的惰性气体经所述气体通道流出所述坩埚的内腔,与现有技术不同的是,所述气体通道靠近相邻所述侧板的连接处。硅料熔化时,坩埚一般处于变软的状态,其形状主要由外周的侧板支撑。由于相邻侧板的夹角小于180度,则坩埚在硅料熔化时,其形状由外部侧板的形状确定。硅液表面的温度会不平衡,出现局部温度高于其它部位的点,杂质在分凝过程中向这些过热点聚集,即热点集中在相邻侧板的连接处。将惰性气体流通的气体通道设在相邻侧板的连接处,可以使惰性气体在坩埚的内腔中沿相邻侧板的连接处流出坩埚,对惰性气体的流向起疏导作用,改变传统的惰性气体流通方向,将惰性气体从热点处导出,温度较低的惰性气体不仅可以给热点降温,减小硅液内部局部过热情况的发生。同时,惰性气体可以快速带走热点处挥发的杂质,使聚集在热点处的杂质经气体通道尽快流出坩埚,最终达到平衡热场,稳定晶体生产速度,提高硅锭品质的目的。在一种优选的实施方式中,所述侧板的一端上部设有凹槽,所述凹槽形成所述气体通道。即将气体通道设在相邻两块侧板中一块的一端上部,使气体通道紧临相邻两侧板的连接处,且位于侧板的上端,既可以保证硅液在坩埚内正常熔化,又可以使气体通道靠近热点,使热点尽快降温,杂质尽快排出。在另一种优选的实施方式中,所述凹槽为弧形凹槽,其深度向靠近所述连接处逐渐增加,即凹槽越靠近连接处越深,也即越靠近硅液的表面。显然,越靠近连接处,热点温度越高,杂质越集中,此时凹槽越靠近硅液表面,其降低热点温度的效果越明显,杂质流出坩祸越快,越有利于平衡热场,稳定晶体生广速度,达到提闻娃淀品质的目的。附图说明图1为现有技术中一种典型铸锭炉的结构示意图;图2为现有技术中通孔型石墨侧板的结构示意图;图3为现有技术中垛口型石墨侧板的结构示意图;图4为本技术所提供侧板装置一种具体实施方式的立体结构示意图;图5为图4所示侧板装置中一块侧板的结构示意图。具体实施方式本技术的核心是提供一种用于铸锭炉的侧板装置,该侧板装置能有效提高铸锭炉对热点处进行冷却和排杂的能力;本技术的另一个核心是提供一种包括上述侧板装置的铸锭炉,该铸锭炉能有效提高硅锭的品质。为了使本
的人员更好地理解本技术方案,以下结合附图和具体实施方式对本技术作进一步的详细说明。需要说明的是,本文所述的内、外、上、下等方位词,均是以铸锭炉处于工作状态时各组成部分的相对位置为参考定义的,应该理解,这些方位词不应该限制本技术的保护范围。请参考图4和图5,图4为本技术所提供侧板装置一种具体实施方式的立体结构示意图,图中箭头所示方向为进入坩埚内的惰性气体的流动方向;图5为图4所示侧板装置中一块侧板的结构示意图。本技术提供一种用于铸锭炉的侧板装置,其中,铸锭炉包括设于热场内的坩埚、与坩埚的内腔连通的惰性气体进气管(此部分结构右参考现有技术图1,本技术仅针对铸锭炉中的侧板装置进行改进,该铸锭炉中其它结构均可参照现有技术),侧板装置包括周向夹持坩埚的若干侧板2,相邻侧板2首尾相接且拼接角度小于180度;侧板2沿坩埚的周向具有至少一个气体通道,坩埚内的惰性气体经气体通道流出坩埚的内腔,与现有技术不同的是,气体通道靠近相邻侧板2的连接处。硅料熔化时,坩埚一般处于变软的状态,其形状主要由外周的侧板2支本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种用于铸锭炉的侧板装置,包括周向夹持坩埚且首尾相连的若干侧板,相邻所述侧板拼接角度小于180度;所述侧板沿所述坩埚的周向具有至少一个气体通道,所述坩埚内的惰性气体经所述气体通道流出所述坩埚的内腔,其特征在于,所述气体通道靠近相邻所述侧板的连接处。

【技术特征摘要】
1.一种用于铸锭炉的侧板装置,包括周向夹持坩埚且首尾相连的若干侧板,相邻所述侧板拼接角度小于180度;所述侧板沿所述坩埚的周向具有至少一个气体通道,所述坩埚内的惰性气体经所述气体通道流出所述坩埚的内腔,其特征在于,所述气体通道靠近相邻所述侧板的连接处。2.根据权利要求1所述的用于铸锭炉的侧板装置,其特征在于,所述侧板的一端上部设有凹槽,所述凹槽形成所述气体通道。3.根据权利要求2所述的用于铸锭炉的侧板装置,其特征在于,所述凹槽为弧形槽,其深度向靠近所述连接处逐渐增加。4.根据权利要求3所述的用于铸锭炉的侧板装置,其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐春良
申请(专利权)人:英利能源中国有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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