新型多晶炉加热装置制造方法及图纸

一种新型多晶炉加热装置，包括：外壳、热场装置、加热装置、抽真空装置、悬挂支撑装置；热场装置包括：隔热笼、外保温层、内保温层、坩埚底板、热交换台侧部保温条、热交换台、底部保温层、热交换台底部保温层、顶部保温层；当需要定向结晶时，缓慢提起隔热笼，底部保温层与热交换台底部保温层脱离产生缝隙，大量的辐射热能会经热交换台从此缝隙散发，在硅液的结晶面形成一个垂直均匀分布的温度梯度，通过控制散热，加热使硅液的结晶凝固得到有效控制，从而生产出符合使用要求的多晶硅铸锭。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及多晶硅锭的制造装置，特别涉及一种新型多晶炉加热装置。
技术介绍
多晶硅铸锭炉是多晶硅料转化为多晶硅锭工艺过程中的必备设备，而多晶硅锭经工艺处理后又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。多晶硅锭作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的多晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。多晶硅铸锭过程中，溶化，长晶、退火工序都要求在温度梯度均匀分布的状态下进行，因此需根据加热工艺要求控制腔体内温度分布，新型多晶炉加热装置可精确控制腔体内温度梯度均匀分布，从而实现工艺要求。
技术实现思路
鉴于此，有必要设计一种新型多晶炉加热装置。一种新型多晶炉加热装置，包括外壳、热场装置、加热装置、抽真空装置、悬挂支撑装置；其中，外壳包括上腔体和下腔体；悬挂支撑装置包括提升杆、吊耳和支撑杆；支撑杆垂直固定于外壳底部，提升杆垂直连接于外壳内部，提升杆顶端与外壳顶部的提升装置相连，提升杆底端与设置在热场装置顶面的吊耳相连；热场装置为可从下底面打开的长方体腔体，热场装置通过在其顶部与提升杆连接及底部与支撑杆连接来固定悬吊在外壳内，加热装置位于热场本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型多晶炉加热装置，其特征在于，包括：外壳、热场装置、加热装置、抽真空装置、悬挂支撑装置；其中，外壳包括上腔体和下腔体；悬挂支撑装置包括提升杆、吊耳和支撑杆；支撑杆垂直固定于外壳底部，提升杆垂直连接于外壳内部，提升杆顶端与外壳顶部的提升装置相连，提升杆底端与设置在热场装置顶面的吊耳相连；热场装置为可从下底面打开的长方体腔体，热场装置通过在其顶部与提升杆连接及底部与支撑杆连接来固定悬吊在外壳内，加热装置位于热场装置内且罩在石英坩埚上，抽真空装置位于外壳外并通过管道与外壳上对应的孔相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴学军，周凯平，
申请(专利权)人：宁夏日晶新能源装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：