【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及多晶硅铸锭炉内设备，具体而言，涉及一种多晶硅铸锭炉固液界面检测装置。
技术介绍
多晶硅铸锭炉是太阳能光伏产业中最为重要的设备之一。它通过提炼得到的高纯度硅熔融调整成为适合于制造太阳能电池的材料，采用定向长晶凝固技术将硅原料熔融制成硅锭，之后工序再将硅锭切成硅片供太阳能电池使用。多晶硅铸锭炉生产多晶硅的主要生产工艺有将高纯度细小颗粒的硅原料(简称籽晶)铺放在坩埚内的底层，然后在其上铺放粗硅原料；接下来进行预热(坩埚的四周和上面设有活动的加热层)使粗硅原料熔化，待粗硅原料全部熔融为液态的硅而籽晶未全部熔化前，开始降温进入结晶阶段；开始结晶时，装有熔融硅料的坩埚不动，将加热层缓慢向上移动，坩埚底部的热量通过加热层与隔热层之间的空隙散发出去，逐渐降低坩埚定向凝固块的温度。在此过程中，已结晶的晶体缓慢生长，而熔融的硅液逐渐减薄。这样在结晶过程中固液界面形成比较稳定的有利于晶体生长的温度梯度，同时固液界面从坩埚底部向上逐渐升高而形成定向结晶的硅锭。在熔化末期和结晶初期之间，存在如下一个矛盾即若籽晶剩余的太多就开始结晶会造成有效硅锭的产量低以及对籽晶的浪费，若...
【技术保护点】
一种多晶硅铸锭炉固液界面检测装置，其特征在于，包括：涡流传感器（7），用于测量坩埚（5）内部的固液界面，得到关于固液界面高度的电信号；信号处理机（9），与所述涡流传感器（7）电连接，用于通过所述电信号得出固液界面的高度值。
【技术特征摘要】
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