一种多晶硅铸锭炉及其坩埚制造技术

本发明专利技术公开了一种多晶硅铸锭炉，包括设于炉腔内的顶部加热器和侧面加热器，还包括设于炉腔内的中心加热器，以便对坩埚内的中部硅料进行加热。由于在多晶硅铸锭炉的炉腔中部安装有中心加热器，在顶部加热器和侧面加热器加热的同时，中心加热器也同时加热，可以快速提高坩埚内硅料的温度，同时缩短了坩埚内外侧硅料到中部硅料热传递的距离，减少了热传递时间，避免了因加热时间过长造成的能量损失。此外，中心加热器的设置还可以减小坩埚内中部硅料和外侧硅料的温度差，保证多晶硅铸锭的质量。本发明专利技术还公开了一种用于上述多晶硅铸锭炉的坩埚。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及多晶硅
，特别是涉及一种多晶硅铸锭炉。此外，本专利技术还涉及一种用于上述多晶硅铸锭炉的坩埚。
技术介绍
在多晶硅电池片的制作过程中，铸造多晶硅锭是一道重要的工艺，多晶硅铸锭的质量将直接影响太阳能电池的转换效率和质量。铸造多晶硅锭大致可以分为三个工序喷涂-装料-铸锭。其中，喷涂工序用到的材料为氮化硅溶液和坩埚，坩埚通常用高纯的二氧化硅制成；氮化硅溶液用来喷涂到坩埚内壁上，其作用是将硅溶液和坩埚隔离，防止两者结合发生反应，造成粘锅现象。装料工序是将散碎的硅料按要求摆放在喷涂好氮化硅溶液的坩埚内。铸锭工序是将装好硅料的坩埚 装入铸锭炉后，经过炉腔抽空、加热、熔化、长晶、退火、冷却后，完成硅锭的铸造。铸锭工序的每一阶段的热量提供均是由多晶硅铸锭炉提供的。请参考图I、图2和图3 ;图I为现有技术中樹祸的结构不意图；图2为现有技术中多晶硅铸锭炉在硅料熔化时的结构示意图；图3为现有技术中多晶硅铸锭炉在长晶阶段的结构示意图。从图中可以看出，多晶硅铸锭炉内设有顶部加热器101和侧面加热器102，顶部加热器101和侧面加热器102设为一体，通过顶部铜电极103与炉体固定，并且在炉体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅铸锭炉，包括设于炉腔内的顶部加热器和侧面加热器，其特征在于，还包括设于炉腔内的中心加热器，以便对坩埚内的中部硅料进行加热。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：姜磊，荣丹丹，吕景记，魏文秀，杨杰，
申请(专利权)人：天津英利新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：