一种单管半导体激光器合束结构制造技术

技术编号:8272882 阅读:340 留言:0更新日期:2013-01-31 05:25
本发明专利技术涉及一种单管半导体激光器合束结构,包括多个同一波长的单管半导体激光器;多个阶梯热沉在同一平面内呈弧形排放,每个阶梯热沉上固定的多个激光器可发出一列方向相同的组合光束;多列组合光束经过不同倾角入射到衍射光栅上并在衍射光栅上发生重叠,通过衍射光栅的分光作用和外腔镜的反馈作用下,每只激光器发出的光束在由激光器的后腔面和外腔镜构成的谐振腔内实现外腔反馈和波长锁定,并由衍射光栅将多路光束合成一束从而实现外腔合束,最后耦合进入多模光纤。本发明专利技术突破了传统空间合束和偏振合束对合束单元数量的限制,显著增加合束单元的数量,耦合进光纤后输出功率相对于采用空间合束和偏振合束技术制成的光纤耦合模块有大幅度的提高。

【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体激光器
,具体涉及一种单管半导体激光器合束结构
技术介绍
由于单管半导体激光器具有高光束质量,散热特性好,寿命长等优点,因此采用单管合束技术制成的光纤耦合模块在激光医疗、光纤激光器泵浦、激光监控、激光加工等方面都有着广泛的应用。但是由于单管半导体激光器的功率输出较低,为了能够提高光纤耦合模块的输出功率以满足单管半导体激光器技术应用,一些研究机构已经采取一些单管合束技术,如(100-W, 105- μ m, O. 15NA Fiber Coupled Laser Diode Module, Scott R.Karl sen, R. Kirk Price, Proc. of SPIE Vol. 7198 71980T-1),这是国际上单管半导体激光器合束主要采用的技术。固定在阶梯热沉的每一级上的激光器在快轴方向叠加成组合光束,将两个组合光束单元通过偏振合束技术进行偏振合束。由于偏振态的限制,只能将一个P偏振的组合光束单元与一个S偏振的组合光束单元进行合束,这样就限制了合束单元 的数量以及光纤耦合模块的输出功率。
技术实现思路
本专利技术要解决现有单管合束技术中偏振合束方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单管半导体激光器合束结构,其特征在于,包括多个同一波长的单管半导体激光器(1);每个所述单管半导体激光器(1)固定在过渡热沉(2)上,所述过渡热沉(2)固定在阶梯热沉(3)上;多个阶梯热沉(3)在同一平面内呈弧形排放,每个阶梯热沉(3)上固定的多个单管半导体激光器(1)可发出一列方向相同的组合光束;多列组合光束经过不同倾角入射到衍射光栅(9)上,光斑在衍射光栅(9)上发生重叠,然后以相同的衍射角衍射至外腔镜(10);每列组合光束被外腔镜(10)反馈后沿原光路返回,使每个单管半导体激光器(1)收到自身的输出反馈;经过输出反馈的多列组合光束经过衍射光栅(9)后合成为一束,通过聚焦镜(11)耦合...

【技术特征摘要】
1.一种单管半导体激光器合束结构,其特征在于,包括多个同一波长的单管半导体激光器(I);每个所述单管半导体激光器(I)固定在过渡热沉(2)上,所述过渡热沉(2)固定在阶梯热沉(3)上;多个阶梯热沉(3)在同一平面内呈弧形排放,每个阶梯热沉(3)上固定的多个单管半导体激光器(I)可发出一列方向相同的组合光束;多列组合光束经过不同倾角入射到衍射光栅(9)上,光斑在衍射光栅(9)上发生重叠,然后以相同的衍射角衍射至外腔镜(10);每列组合光束被外腔镜(10)反馈后沿原光路返回,使每个单管半导体激光器(I)收到自身的输出反馈;经过输出反馈的多列组合光束经过衍射光栅(9)后合成为一束,通过聚焦镜(11)耦合进入多模光纤(12)。2.根据权利要求I所述的半导体激光器单管合束光纤耦合模块,每个所述的单管半导体激光器(I)前腔面镀有透过率在99%以上的增透膜。3.根据权利要求I所述的单管半导体激光器合束结构,其特征在于,每个所述单管半导体激光器(I)前还分别安装有用来减小激光器快慢轴的发散角的快轴准直镜(6)和慢轴准直镜(7);所述快轴准直镜(6)为柱面微透镜或球面微透镜;所述慢轴准直镜(7)为柱面微...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱洪波郝明明秦莉张志军王立军
申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
类型:发明
国别省市:

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