晶片封装体及其制造方法技术

技术编号:8241968 阅读:158 留言:0更新日期:2013-01-24 22:55
本发明专利技术提供一种晶片封装体及其制造方法,该晶片封装体包括:一半导体基底,包括一元件区及一围绕此元件区的周边接垫区,且此周边接垫区上具有一导电垫以及一暴露出此导电垫的导通孔;一保护层,覆盖此半导体基底的下表面及此导通孔;一封装层,设于此半导体基底的上表面上;以及一间隔层,设于此封装层及此半导体基底之间,其中此晶片封装体具有一由此半导体基底、此保护层、此封装层及此间隔层所构成的侧表面,且此侧表面具有至少一凹陷部。本发明专利技术能够避免晶片封装体产生脱层现象。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术有关于一种晶片封装体,且特别是有关于一种改善晶片封装体各膜层界面间的应力关系的。
技术介绍
目前业界针对晶片的封装已发展出一种晶圆级封装技术,半导体晶圆通常与玻璃基板接合在一起,并在半导体晶圆与玻璃基板之间设置间隔层。于晶圆级封装体完成之后,在各晶片之间进行切割步骤,以形成晶片封装体。在现有的晶片封装体中,半导体基底、保护层、间隔层与玻璃基板之间为连续的界面,由于各层的材料不同,膨胀系数也不同,因此当现有的晶片封装体受到高温影响之下, 各膜层之间例如保护层、半导体基底、间隔层与玻璃基板之间的界面处会产生脱层的现象,使得水气及空气进入晶片封装体,导致现有的晶片封装体发生电性不良。因此,业界亟需一种晶片封装体,其可以克服上述问题,避免晶片封装体产生脱层现象。
技术实现思路
本专利技术提供一种晶片封装体,包括一半导体基底,包括一元件区及一围绕此元件区的周边接垫区,且此周边接垫区上具有一导电垫以及一暴露出此导电垫的导通孔;一保护层,覆盖此半导体基底的下表面及此导通孔;一封装层,设于此半导体基底的上表面上;以及一间隔层,设于此封装层及此半导体基底之间,其中此晶片封装体具有一由此半导体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶片封装体,其特征在于,包括:一半导体基底,包括一元件区及一围绕该元件区的周边接垫区,且该周边接垫区上具有一导电垫以及一暴露出该导电垫的导通孔;一保护层,覆盖该半导体基底的下表面及该导通孔;一封装层,设于该半导体基底的上表面上;以及一间隔层,设于该封装层及该半导体基底之间;其中该晶片封装体具有一由该半导体基底、该保护层、该封装层及该间隔层所构成的侧表面,且该侧表面具有至少一凹陷部。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:刘沧宇张义民陈姿旻
申请(专利权)人:精材科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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