一种自动上下料PECVD石墨舟保护系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种自动上下料PECVD石墨舟保护系统，为了防止石墨舟被炉门损坏，本实用新型专利技术包括光纤发光探头固定板和光纤感光探头固定板，所述光纤发光探头固定板上装有光纤传感器发光探头，所述光纤感光探头固定板上装有光纤传感器感光探头；所述光纤传感器发光探头和光纤传感器感光探头分别通过信号传输线与一光纤传感器放大器相连。本实用新型专利技术保护了贵重件石墨舟，提高了自动上下料PECVD可靠程度。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池制造自动化设备领域，尤其涉及一种自动上下料PECVD石墨舟保护系统。
技术介绍
太阳能电池作为可再生的环保能源已经越来越受到人们的关注，与其相关的生产工艺及生产设备也得到了迅猛的发展。一直以来，传统的PECVD(Plasma EnhancedChemical Vapor Deposition),即等离子体增强化学气相沉积法一般都是手工将石墨舟放在SIC桨上，通过SIC桨将石墨舟放到石英管里面，当SIC桨放好石墨舟退出石英管后，以前的PECVD就是判断推舟板(SIC桨)到位后，就会关闭炉门，由于SIC桨在石英管的下降空间很小，且由于SIC桨前部微翘(前部微翘是为了使石墨舟放上后水平)，当SIC桨下降然后退出石英管时，SIC桨前面的横梁有可能挂出石墨舟，如果只判断推舟板(SIC桨)到 位就关炉门，石墨舟则很可能被炉门损坏，因此亟待开发一种实现自动上下料PECVD的石墨舟保护系统。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术旨在提供一种用于自动上下料PECVD的石墨舟保护系统，保护石墨舟被SIC桨误挂出而不被损坏。为实现上述目的，本技术采用的技术方案是一种自动上下料PECVD本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动上下料PECVD石墨舟保护系统，其特征是，包括光纤发光探头固定板（1）和光纤感光探头固定板（3），所述光纤发光探头固定板（1）上装有光纤传感器发光探头（4），所述光纤感光探头固定板（3）上装有光纤传感器感光探头（5）；所述光纤传感器发光探头（4）和光纤传感器感光探头（5）分别通过信号传输线与一光纤传感器放大器（8）相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：金则军，胡振东，易文杰，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：实用新型
国别省市：