一种改进的氮气防护罩制造技术

本实用新型专利技术公开了一种改进的氮气防护罩，其特征在于：包括氮气罩，氮气罩的下端面上通过焊接方式连接有若干根氮气管。进一步地说：所述氮气罩呈圆弧状，氮气管设置在氮气罩的两侧下端；所述氮气罩的中心位置设置有空心圆。本实用新型专利技术将氮气管和氮气罩连接直接用氩弧焊接，简化制造程序，节约了大量的制造成本，提高了生产效率，同时，将本实用新型专利技术设计为圆弧型，使得氮气形成交互式气流，提高了使用时的均匀性。本实用新型专利技术能够明显的减少粉尘的产生，延长了喷嘴清洗的时间间隔。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于防护装置领域，具体地说，涉及一种改进的氮气防护罩。
技术介绍
氮气保护罩(N2 SHIELD)是常压气相沉积设备的核心部件-喷嘴的防护装置。现有的氮气保护罩，大多是由不锈钢材料制成的。它可以延缓硅烷反应后的粉尘以及玻璃残渣在喷嘴底部的形成，并且可以延长喷嘴清洗时间间隔。但是，现有的氮气保护罩也存在一些缺陷，主要体现在氮气管和氮气罩连接的是通过螺丝将两者连接在一起。安装时因为保护罩和喷嘴之间的间隙很小，所以很容易卡住。 同时，在制造过程中需要打孔攻丝，这就要求定位必须很精准，单单打孔就需要16个之多，这样就造成了加工工作手续繁复，难度大，容易出现质量问题，导致氮气保护罩的使用寿命缩短,增加了生产成本。另外，现有的保护罩一般是平板形状，平板形状的氮气罩结构设计导致氢化物在腔体的气流也会偏大，同时在保护罩上的开孔有些偏大，导致粉尘或玻璃残渣会有更多的产生，不利于对喷嘴使用寿命延长。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服上述缺陷，提供ー种结构简单、加工方便并且延长使用寿命的改进的氮气防护罩。为解决上述问题，本技术所采用的技术方案是—种改进的氮气防护罩，其特征在于包括氮气罩，氮气本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种改进的氮气防护罩，其特征在于：包括氮气罩(2)，氮气罩(2)的下端面上通过焊接方式连接有若干根氮气管(1)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：余建国，
申请(专利权)人：无锡亚迈微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：