一种在CVD设备中检测基板破片的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种在CVD设备中检测基板破片的装置，包括装载腔室，装载腔室的入口的上方设有CCD镜头装置。本实用新型专利技术一种在CVD设备中检测基板破片的装置，通过在装载腔室的入口的上方设有CCD镜头装置，通过CCD镜头装置实时拍摄通过装载腔室入口的基板，从CCD镜头装置实时拍摄的图片可以直观的判断基板上是否有裂纹和破损；避免破损的基板进入CVD设备，损坏设备，影响生产。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

—种在CVD设备中检测基板破片的装置
本技术涉及ー种在CVD设备中检测基板破片的装置。背景技木在基板进入CVD (Chemical Vapor Deposition,化学气相沉积)设备之前,设备只能判断基板是否有破碎，但是不能判断基板上位于边角处的破损和基板上的裂纹；出现裂纹和破角的玻璃基板会在设备内破裂，损坏设备，影响生产。
技术实现思路
本技术的目的是提供ー种在CVD设备中检测基板破片的装置，以解决上述技术问题。为达到以上目的，本技术采用如下技术方案ー种在CVD设备中检测基板破片的装置，包括装载腔室，装载腔室的入口的上方设有CXD镜头装置。本技术进ー步的改进在于所述若干CXD镜头装置排列成ー排。本技术进ー步的改进在于所述CXD镜头装置设置于入口上方10cm。本技术进ー步的改进在于入口下方设置有LED光源。本技术进ー步的改进在于所述CXD镜头装置还连接有显示装置。与现有技术相比，本技术具有以下优点本技术ー种在CVD设备中检测基板破片的装置，通过在装载腔室的入ロ的上方设有CCD镜头装置，通过CCD镜头装置实时拍摄通过装载腔室入口的基板，从CCD镜头装置实时拍摄的图片可以直观的判断本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在CVD设备中检测基板破片的装置，其特征在于，包括装载腔室(1)，装载腔室(1)的入口(2)的上方设有若干CCD镜头装置(3)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张明，
申请(专利权)人：彩虹佛山平板显示有限公司，
类型：实用新型
国别省市：