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本实用新型公开了一种自动上下料PECVD石墨舟保护系统，为了防止石墨舟被炉门损坏，本实用新型包括光纤发光探头固定板和光纤感光探头固定板，所述光纤发光探头固定板上装有光纤传感器发光探头，所述光纤感光探头固定板上装有光纤传感器感光探头；所述光纤...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

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