【技术实现步骤摘要】
本技术属于光学材料制备
,具体涉及一种制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料的装置。
技术介绍
当今光学材料制备
,普遍采用化学气相沉积法制备复合光学材料。对于硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料,采用化学气相沉积法制备的产品在中波红外波段光谱透过特性差,平均值仅能达到60%,不能满足生产设计要求;此外,所述化学气相沉积法制备生产周期长,生产效率低。
技术实现思路
本技术需要解决的技术问题为现有技术中采用化学气相沉积方法制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料中波红外波段光谱透过特性差、生产效率低。本技术的技术方案如下所述一种制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料的装置,包括炉体和配电柜,还包括控制柜、真空系统和冷却系统,其中,控制柜通过真空系统、冷却系统、炉体内部的传感器对整个装置进行控制、报警及记录数据;真空系统与炉体相连接,用于对炉体进行抽真空操作;冷却系统与炉体及真空系统相连接,用于对炉体及真空系统进行冷却处理;配电柜为整个装置提供动力电源。所述控制柜包括PLC可编程逻辑控制器和PC机;其中,通过PC机设定真空度、温度、气压、时间参数,并通过真空系统、冷却系统、炉体内部 ...
【技术保护点】
一种制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料的装置,包括炉体(4)和配电柜(5),其特征在于:还包括控制柜(1)、真空系统(2)和冷却系统(3),其中,控制柜(1)通过真空系统(2)、冷却系统(3)、炉体(4)内部的传感器对整个装置进行控制、报警及记录数据;真空系统(2)与炉体(4)相连接,用于对炉体(4)进行抽真空操作;冷却系统(3)与炉体(4)及真空系统(2)相连接,用于对炉体(4)及真空系统(2)进行冷却处理;配电柜(5)为整个装置提供动力电源。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:吴志新,宗杰,甘硕文,赵晓龙,林峰,张弢,加里宾EA,古谢夫PE,杰米坚科AA,杜纳耶夫AA,扎伊耶夫UH,马卡罗夫AH,米罗诺夫IA,阿法纳西耶夫BA,克鲁托夫MA,
申请(专利权)人:天津津航技术物理研究所,
类型:实用新型
国别省市:
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