【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种真空镀膜机，尤其涉及该设备中真空释放装置。
技术介绍
现有技术真空镀膜机真空室真空释放装置基本工作原理，树脂镜片真空镀膜机真空释放系统包括吸气LV阀，连接真空室管道，以及连接管道的吸气消声过滤装置。树脂镜片镀膜设备在镜片镀膜过程中，首先通过扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+plycold进行排气，把真空室内的气体、水汽分子排出，达到真空室真空度符合树脂镜片镀膜的加工条件。树脂镜片镀膜在真空室真空度达到3. 0E-5T0RR以下的条件镀膜，才 能达到符合要求的树脂镜片膜系。当镀膜工程结束后，镀膜设备按设定程序，真空室内会自动充气进行真空释放。当树脂镜片完成镀膜时MV高压阀自动关闭，LV阀自动打开，空气经消声过滤器流入真空室，对真空室进行真空释放。由此可见因真空室与外界大气压力不同，真空释放时LV管道在吸气过程中真空室内会产生短暂的气流冲击，管道出口无任何的缓解装置，从而使DOM上镜片受气流冲击出现吹飞镜片现象。使镜片散落在MV高真空阀内和真空室内。每罩加工180片中有5-10片树脂镜片因气流冲击而散落，或卡在MV高真空阀盖上，致使在下加工过程中，因MV高真空阀关闭不严，低真空排气时间延长，影响镀膜工作效率和膜色的不良。
技术实现思路
本技术需要解决的技术问题是提供了一种带真空释放导流机构的真空镀膜机，旨在解决上述的问题。为了解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的本技术包括带MV高压阀的真空室以及与真空室相连的管道；所述管道的一端连接一消声过滤器；在所述管道的中间安置一 LV阀；还包括一真空释放导流机构；所述的真空释放机构安置在管道另一端的前...
【技术保护点】
一种带真空释放导流机构的真空镀膜机，包括：带MV高压阀的真空室以及与真空室相连的管道；所述管道的一端连接一消声过滤器；在所述管道的中间安置一LV阀；其特征在于还包括：一真空释放导流机构；所述的真空释放机构安置在管道另一端的前端；所述的真空释放导流机构形状为长方形箱体；所述长方形箱体的一边盖子内侧设置至少2个梅花形小孔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴国庆，
申请(专利权)人：比真光学上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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