带真空释放导流机构的真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种带真空释放导流机构的真空镀膜机，包括：带MV高压阀的真空室以及与真空室相连的管道；所述管道的一端连接一消声过滤器；在所述管道的中间安置一LV阀；还包括：一真空释放导流机构；所述的真空释放机构安置在管道另一端的前端；所述的真空释放导流机构形状为长方形箱体；所述长方形箱体的一边盖子内侧设置至少2个梅花形小孔；本实用新型专利技术的有益效果是：使DOM上镜片不易吹落；同时也保证了真空镀膜机在规定时间内达到所需的真空度，保证生产设备的稳定性。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种真空镀膜机，尤其涉及该设备中真空释放装置。
技术介绍
现有技术真空镀膜机真空室真空释放装置基本工作原理，树脂镜片真空镀膜机真空释放系统包括吸气LV阀，连接真空室管道，以及连接管道的吸气消声过滤装置。树脂镜片镀膜设备在镜片镀膜过程中，首先通过扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+plycold进行排气，把真空室内的气体、水汽分子排出，达到真空室真空度符合树脂镜片镀膜的加工条件。树脂镜片镀膜在真空室真空度达到3. 0E-5T0RR以下的条件镀膜，才 能达到符合要求的树脂镜片膜系。当镀膜工程结束后，镀膜设备按设定程序，真空室内会自动充气进行真空释放。当树脂镜片完成镀膜时MV高压阀自动关闭，LV阀自动打开，空气经消声过滤器流入真空室，对真空室进行真空释放。由此可见因真空室与外界大气压力不同，真空释放时LV管道在吸气过程中真空室内会产生短暂的气流冲击，管道出口无任何的缓解装置，从而使DOM上镜片受气流冲击出现吹飞镜片现象。使镜片散落在MV高真空阀内和真空室内。每罩加工180片中有5-10片树脂镜片因气流冲击而散落，或卡在MV高真空阀盖上，致使在下加工过程中，因MV高真空阀关闭不严，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带真空释放导流机构的真空镀膜机，包括：带MV高压阀的真空室以及与真空室相连的管道；所述管道的一端连接一消声过滤器；在所述管道的中间安置一LV阀；其特征在于还包括：一真空释放导流机构；所述的真空释放机构安置在管道另一端的前端；所述的真空释放导流机构形状为长方形箱体；所述长方形箱体的一边盖子内侧设置至少2个梅花形小孔。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴国庆，
申请(专利权)人：比真光学上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：