一种金属铝诱导多晶碲锌镉薄膜的制备方法技术

本发明专利技术涉及一种金属铝诱导多晶碲锌镉薄膜的制备方法，其特征在于将衬底清洗后，在真空度条件下，加热，通入氩气，进行反溅清洗，在碲锌镉晶体靶上的施加溅射功率起辉，对衬底表面镀碲锌镉先驱薄膜，再对镀碲锌镉先驱薄膜的表面溅射金属铝膜，制成碲锌镉先驱薄膜/诱导金属Al膜的层叠结构，在氩气气氛保护下对碲锌镉先驱薄膜/诱导金属Al膜层叠结构进行热处理，最后用pH=12的氢氧化钠的溶液将表面析出的铝材料腐蚀去除，获得多晶碲锌镉薄膜产品，该方法具有成本低，适用于大面积沉积薄膜，薄膜与基片间附着力较大，可控性好，原材料利用率高，生产效率高、成膜质量好、晶粒尺寸大，载流子迁移率高的优点及效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，属于II -VI族化合物半导体薄膜材料领域。
技术介绍
締锌镉,英文名称cadmium zinc telluride, CdZnTe,简写为CZT,是近年发展起来的一种性能优异的新型室温半导体探测器材料。由于其电阻率高、原子序数大(48 52)、量子效率高、电荷传输性能优异及禁带宽度大等物理特性非常适合制成X、Y射线探测器，可广泛应用于天文、医学、工业、军事等领域。然而，由于碲锌镉晶体离子性强，热导率较低，空位、孪晶等缺陷的形成能低，获得大面积均匀碲锌镉单晶材料非常困难，限制了它在核医学和医用CT成象方面的应用。与生长大尺寸碲锌镉单晶相比，碲锌镉薄膜制备工艺相对简 单，成本低，易实现批量化生产；热性能好，强度高，可以实现高浓度掺杂；由于薄膜材料中表面和介面所占的相对比例较大，具有特殊的光、电效应；能根据器件要求制成所需的形状和大小；可以制造大尺寸、多层和多功能叠层结构；可以制成大的片状/板状探测器，给电光器件的设计带来广阔的发展空间。碲锌镉薄膜的制备一直是人们关注的热点问题，因为这直接关系到了材料的后续应用。目前已经报道的制备方法主要有化学沉积法、金属有机化学气相沉本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种金属铝诱导多晶碲锌镉薄膜的制备方法，其特征在于它按下述步骤进行：（a）将衬底ITO玻璃用丙酮超声清洗15～30分钟，再用质量浓度为99.5%的乙醇超声清洗15～30分钟，最后用去离子水清洗15～30分钟；（b）再将（a）项清洗的底板ITO玻璃在真空度为1.0×10？4～9.9×10？4帕的条件下，加热至100～300℃，通入氩气，压强为3～5帕时，进行反溅清洗10～20分钟；（c）在碲锌镉晶体靶上的功率为60～120瓦、氩气流量为10？50毫升/分钟、压强为1～3帕的条件下，施加溅射功率起辉，对（b）项处理的ITO玻璃表面镀碲锌镉先驱薄膜10～60分钟；（d）在金属铝靶上的溅射功率为60～...

【技术特征摘要】
1.一种金属铝诱导多晶碲锌镉薄膜的制备方法，其特征在于它按下述步骤进行 (a)将衬底ITO玻璃用丙酮超声清洗15 30分钟，再用质量浓度为99.5%的乙醇超声清洗15 30分钟，最后用去离子水清洗15 30分钟； (b)再将(a)项清洗的底板ITO玻璃在真空度为I.0X10_4 9. 9X10_4帕的条件下，加热至100 300°C，通入氩气，压强为3 5帕时，进行反溅清洗10 20分钟； (c)在締锌镉晶体祀上的功率为60 120瓦、IS气流量为10-50晕升/分钟、压强为I 3帕的条件下，施加溅射功率起辉，对(b)项处理的ITO玻璃表面镀碲锌镉先驱薄膜10 60分钟； Cd)在金属招祀上的派射功率为60 200瓦、IS气流量为10-50晕升/分钟、压强为I 3帕条件下，对(C)项...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾冬梅，周海，潘松海，杨英歌，
申请(专利权)人：北京石油化工学院，
类型：发明
国别省市：