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一种金属铝诱导多晶碲锌镉薄膜的制备方法技术
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文档序号:8128534
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本发明涉及一种金属铝诱导多晶碲锌镉薄膜的制备方法,其特征在于将衬底清洗后,在真空度条件下,加热,通入氩气,进行反溅清洗,在碲锌镉晶体靶上的施加溅射功率起辉,对衬底表面镀碲锌镉先驱薄膜,再对镀碲锌镉先驱薄膜的表面溅射金属铝膜,制成碲锌镉先驱薄...
该专利属于北京石油化工学院所有,仅供学习研究参考,未经过北京石油化工学院授权不得商用。
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