用于保持基板的基板载体制造技术

本发明专利技术涉及一种用于保持基板的基板载体，所述基板载体由承载框架(1)和至少一个基板容纳件(2)构成。承载框架(1)具有自支撑的而且挠曲刚性的框架结构，该框架结构由彼此成角度地布置的纵向支撑条(6)与横向支撑条(7)构成，所述纵向支撑条(6)和横向支撑条(7)由直至800℃仍形状稳定的材料构成。基板容纳件(2)平放在承载框架(1)上，并且以如下方式呈板状地构造，即，太阳能电池晶圆(5)可以定位在基板容纳件(2)的上侧上。在承载框架(1)与基板容纳件(2)之间存在有热绝缘元件(9)。承载框架(1)的元件和基板容纳件(2)由钢、钛、铝、陶瓷、CFC(CFC＝碳纤维增强的碳)或者由上述材料制成的复合材料来构成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于保持一个或多个基板的基板载体，特别是用于在运输期间以及在具备镀层工艺和/或者蚀刻工艺的工艺处理室内的各个工艺步骤进行期间，对太阳能电池晶圆加以保持。
技术介绍
在利用镀层工艺和/或者蚀刻工艺处理基板时，要求的是调整出具体环境的特殊的温度与压力。在此，除了基板的各工艺应以技术上所设置的方式具体施加影响的表面夕卜，各工艺通常还作用于工艺处理室内的所有表面。依照现有技术，尝试的是以如下方式将基板与装置系统布置在工艺处理室内部，即，使各工艺至少主要作用于具体的基板表面上。在实践中经常应用简单的手段一即是将不应被镀层的装置构件例如以铝箔遮盖。但这终归仅是相对粗略的遮盖，这种粗略的遮盖无法盖住在基板保持件处紧邻基板周围的面。特别是在高周期频率的而且重复利用基板保持件的工艺中，在多次经历工艺时，基板保持件持续经受通常有侵蚀性的工艺参数，这可能导致快速磨损和报废。相对高的温度导致基板保持件受应力并且变形，化学性的工艺导致在基板保持件的表面发生不希望的变化。基于热传导，基板保持件的相对高的热质量经常导致各个作为基板布置在基板载体上的太阳能晶圆产生不希望的温度变化曲线，由此，可能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：马里奥·普吕斯特尔，斯特凡·舒伯特，赫尔曼·施莱姆，马蒂亚斯·乌利希，安德烈·卢克斯，丹尼尔·德克尔，西尔维娅·克劳特瓦尔德，
申请(专利权)人：霍赫劳股份有限公司，
类型：
国别省市：