转移装置及基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种使结构简易化从而能够减少部件数量且能够缩短基板移动时间的转移装置及安装有该转移装置的真空处理装置。保持搬送托架(17)的保持基部(32)通过平行连接机构(40)而旋转，从而使得搬送托架(17)在去路(R1)和回路(R2)之间移动。因此，不需要像现有技术那样的升降机构和滑动机构的双轴的移动操作，而是能够通过驱动平行连接机构(40)的一个驱动部(50)来实现搬送托架(17)的移动。即，能够使转移装置(30)的结构简易化，能够减少部件的数量。由此，能够降低成本，且能够降低维护的频率。另外，通过保持基部(32)的旋转来移动，与现有的转移装置相比，能够缩短移动时间。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种对保持为直立的基板进行移动的装置，即将位于一个搬送路线上的基板移动变化到另外的搬送路线上的转移装置以及装载有该转移装置的基板处理装置。
技术介绍
专利文件I中记载的真空处理装置中装载的搬送装置对将被处理基板保持为竖长的搬送托架进行搬送。该搬送装置中所设置的转移装置沿着托架的搬送方向对托架两侧进行保持，在平行敷设于各个处理室底部的搬送路线之间，移动保持被处理基板的搬送托架。该转移装置具有载置搬送托架的托架台，用于使托架台升降的升降机构，以及用 于在水平方向上移动该升降机构的滑动机构。这些升降机构和滑动机构分别设有驱动源(发动机Ml和M2)(例如参见专利文件I的说明书段落、、图2和图3)。专利文件I :国际公布第2009/107728号小册子然而，该转移装置通过升降机构和滑动机构的双轴机构对搬送托架进行移动，另夕卜，由于分别设有驱动源，因此这些机构变得复杂。机构变得复杂则部件数量增加，成本也变高。另外，该转移装置中，通过利用升降机构而上升、利用滑动机构而水平移动以及利用升降机构而下降的这三个操作对搬送托架进行移动，因此存在操作时间长的问题。专利技术内容鉴于上述内容，本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉田大介，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：
国别省市：