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本发明提供一种使结构简易化从而能够减少部件数量且能够缩短基板移动时间的转移装置及安装有该转移装置的真空处理装置。保持搬送托架(17)的保持基部(32)通过平行连接机构(40)而旋转，从而使得搬送托架(17)在去路(R1)和回路(R2)之间移...
该专利属于株式会社爱发科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社爱发科授权不得商用。

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