传递工件进出真空并在真空中通过加工区的方法及设备技术

本发明专利技术提供了一种传递工件进出真空并在真空中通过加工区的方法，对工件在真空中进行加工之前，在真空制程腔内有一个前缓冲程序，该程序包括对一纵列N个工件进行逐个工件下降运动，将每最下方一个工件送至水平传输平台上，由水平传输平台逐个将工件送至加工区进行加工；本发明专利技术还提供了一种实现上述方法的设备，包括一个真空制程腔，所述真空制程腔分为顺次的前缓冲区、加工区和后缓冲区，其内贯穿前缓冲区、加工区和后缓冲区设有水平传输平台；前缓冲区和后缓冲区内设置升降装置，其优点在于其对工件进行的传输过程一直是直线运动没有拐弯，传输效率高，运动方式简单，设计也简单，所需的机械零部件少，成本低，可靠性高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空制程领域，特别是涉及一种真空传输制程的方法及设备。
技术介绍
在一些太阳能电池片制造行业中，对很多工件的加工都需要在真空环境下进行。不可避免地，需将工件从常温常压环境送入真空以及从真空取出至常温常压下，其整个反应过程需要多次抽真空、破真空，不仅流程繁琐而且消耗能源、磨耗设备。 而且，当不同批次的工件进出真空环境时，或是在真空环境中从已加工工件切换至下批次待加工工件时，其加工装置对工件的加工制程都不得不发生中断，在该中断时间段内，该加工装置完全处于无效运行状态，既浪费了加工资源，又浪费了加工时间。在现有技术中，要么工件不能连续被加工，要么连续加工时生产效率很低，因此如何提高真空制程的生产效率便成为了一个至关重要的研究课题。
技术实现思路
为了解决以上技术问题，本专利技术提供了一种可有效节省加工资源和加工时间、提高生产效率的传递工件进出真空并在真空中通过加工区的方法及设备。本专利技术所述传递工件进出真空并在真空中通过加工区的方法，其特征在于对工件在真空中进行加工之前，在真空制程腔内有一个前缓冲程序，该程序包括对一纵列N个工件进行逐个工件下降运动，将每最下方一个工件送至水平本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传递工件进出真空并在真空中通过加工区的方法，其特征在于对工件在真空中进行加工之前，在真空制程腔内有一个前缓冲程序，该程序包括对一纵列N个工件进行逐个工件下降运动，将每最下方一个工件送至水平传输平台上，由水平传输平台逐个将工件送至加工区进行加工。

【技术特征摘要】
1.一种传递工件进出真空并在真空中通过加工区的方法，其特征在于对工件在真空中进行加工之前，在真空制程腔内有一个前缓冲程序，该程序包括对一纵列N个工件进行逐个工件下降运动，将每最下方一个工件送至水平传输平台上，由水平传输平台逐个将工件送至加工区进行加工。2.根据权利要求I所述一种传递工件进出真空并在真空中通过加工区的方法,其特征在 于对工件在真空中进行加工之后，在真空制程腔内有一个后缓冲程序，该程序包括对工件进行上升运动，将水平传输平台传送过来加工完毕的工件进行逐个工件上升运动，最后形成一纵列N个工件。3.根据权利要求2所述一种传递工件进出真空并在真空中通过加工区的方法，其特征在于所述一纵列N个工件进入真空制程腔之前，其先进入一个与可在大气与真空状态切换的进片腔；由外界向进片腔进片时，进片腔内为大气状态；由进片腔进入真空制程腔时，进片腔内为真空状态。·4.根据权利要求3所述一种传递工件进出真空并在真空中通过加工区的方法，其特征在于所述一纵列N个工件同时从进片腔传输至真空制程腔。5.根据权利要求3或4所述一种传递工件进出真空并在真空中通过加工区的方法，其特征在于所述一纵列N个工件离开真空制程腔，通过进入一个可在大气与真空状态切换的出片腔来完成；由真空制程腔进入出片腔时，出片腔内为真空状态；由出片腔送出外界时，出片腔内为大气状态。6.根据权利要求5所述一种传递工件进出真空并在真空中通过加工区的方法，其特征在于所述一纵列N个工件同时从真空制程腔传输至出片腔。7.根据权利要求6所述一种传递工件进出真空并在真空中通过加工区的方法，其特征在于当所述一纵列N个工件逐一通过加工区，第二批次N个工件纵列送入进片腔。8.根据权利要求4所述一种传递工件进出真空并在真空中通过加工区的方法，其特征在于当所述一纵列N个工件中最后一个由前缓冲区落至水平传输平台上，第二批次N个工件纵列一起进入前缓冲区，开始下一个批次往加工区的传送。9.根据权利要求4所述一种传递工件进出真空并在真空中通过加工区的方法，其特征在于该方法具体步骤包括 (1)、第一批次十二个工件纵列全部进入进片腔，进片腔与外界之间的阀门关闭； (2)、进片腔抽真空，完毕后，进片腔与真空制程腔之间的阀门打开； (3)、十二个工件从进片腔...

【专利技术属性】
技术研发人员：张海林，姚飞，宋银海，
申请(专利权)人：青岛赛瑞达电子装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：