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本发明提供了一种传递工件进出真空并在真空中通过加工区的方法，对工件在真空中进行加工之前，在真空制程腔内有一个前缓冲程序，该程序包括对一纵列N个工件进行逐个工件下降运动，将每最下方一个工件送至水平传输平台上，由水平传输平台逐个将工件送至加工区...
该专利属于青岛赛瑞达电子装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛赛瑞达电子装备股份有限公司授权不得商用。

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