一种基板传送装置及真空传送设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空传送设备的基板传送装置，包括：机械臂滑轨；机械臂，可滑动地安装于机械臂滑轨，且机械臂的滑动方向与机械臂滑轨的延伸方向平行；承载板，可滑动地安装于机械臂，且承载板的滑动方向与机械臂滑轨的延伸方向平行；驱动机械臂以及承载板滑动的驱动系统。基板从基板装载位置传送至基板卸载位置的过程中始终位于承载板，且承载板只在机械臂上进行滑动，机械臂只在机械臂滑轨上进行滑动，不需要中间辅助设备，机械臂与机械臂滑轨之间以及机械臂与承载板之间的滑动配合的连接关系稳定，在运行时不会对基板造成冲击，不会对基板造成损伤。本实用新型专利技术提供的基板传送装置在传送基板时稳定可靠，不会对基板造成损伤。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体加工设备
，特别涉及一种基板传送装置及真空传送设备。
技术介绍
在半导体的加工过程中，基板的干法刻蚀是基板加工工艺中的一个重要环节。在基板的干法刻蚀过程中，基板(一般采用玻璃基板)需要在干法刻蚀设备的L/L(Load Lock,真空大气切换腔)、T/M (Transfer Module,真空传送腔)、P/C (Process Chamber,制程腔)之间进行传送，其中，在L/L和P/C之间的T/Μ中，需要通过基板传送装置对基板进行传送。如图I所示，现有技术中位于真空传送腔的腔壁10内部的基板传送装置包括驱动臂16、驱动电机、传动杆17、承载叉15、可升降的第一缓冲托板13和第二缓冲托板14、以及驱动第一缓冲托板13和第二缓冲托板14升降的驱动装置；所述驱动电机包括驱动电机输出轴161,驱动电机输出轴161的延伸方向垂直于基板传送方向；驱动臂16的一端固定于驱动电机输出轴161，且驱动臂16的延伸方向与驱动电机驱动轴161的延伸方向垂直；传动杆17的一端可旋转预定角度地铰接于驱动臂16的另一端，传动杆17的另一端与承载叉15连接，以驱动承载叉15在第一缓冲托板13和第二缓冲托板14之间的间隙内移动；承载叉15的承载面与驱动电机驱动轴161的延伸方向垂直，且传动杆17与驱动臂16之间的铰接轴线与驱动电机驱动轴161的延伸方向平行。为便于描述，设定腔壁10的第一侧面12设置有基板进口，第二侧面11设置有基板出口。驱动电机输出轴161带动驱动臂16旋转，驱动臂16通过传动杆17驱动承载叉15从腔壁10第一侧面12设置的基板进口伸出，将基板装载之后，承载叉15在驱动电机的驱动下将基板传送至真空传送腔的中间部位，此时，驱动电机停止对承载叉15的驱动，第一缓冲托板13和第二缓冲托板14在其驱动装置的驱动下同时等速上升，将承载叉15上的基板托起，此时，驱动电机继续旋转，通过驱动臂16以及传动杆17带动承载叉15转向，使得承载叉15指向腔壁10第二侧面11设置的基板出口，此时，驱动电机停止旋转，第一缓冲托板13和第二缓冲托板14同时等速下降，将基板重新放置在承载叉15上，驱动电机继续驱动承载叉15将基板通过基板出口送出真空传送腔，进入下一工序。由于现有技术中的基板传送装置中，承载叉15在第一缓冲托板13和第二缓冲托板14之间的间隙内伸缩以及旋转动作时，存在与第一缓冲托板13和第二缓冲托板14发生碰撞的风险，当承载叉15与第一缓冲托板13或第二缓冲托板14发生碰撞时，会对承载叉、基板等造成损伤，进而造成经济损失。因此，如何提供一种基板传送装置，以防止在传送过程中发生碰撞损伤，是本领域技术人员需要解决的技术问题之一。
技术实现思路
本技术提供一种真空传送设备的基板传送装置，以解决现有技术中因基板传送装置本身带来的基板损伤现象。为达到上述目的，本技术提供以下技术方案一种真空传送设备的基板传送装置，包括机械臂滑轨；机械臂，可滑动地安装于所述机械臂滑轨上，且所述机械臂的滑动方向与所述机械臂滑轨的延伸方向平行；承载板，可滑动地安装于所述机械臂上，且所述承载板的滑动方向与机械臂滑轨的延伸方向平行； 驱动系统，用于驱动所述机械臂和承载板滑动。优选地，所述机械臂具有第一滑臂和第二滑臂，所述第一滑臂和第二滑臂沿机械臂滑轨延伸方向向两侧伸出；所述承载板与所述第一滑臂和第二滑臂滑动连接。优选地，所述承载板为第一承载叉和第二承载叉，所述第一承载叉可滑动地安装于所述第一滑臂，所述第二承载叉可滑动地安装于所述第二滑臂。优选地，所述第一滑臂与第一承载叉之间通过滑动连接的滑轨和滑槽连接；所述第二滑臂与第二承载叉之间通过滑动连接的滑轨和滑槽连接。优选地，所述滑轨设置于第一滑臂和第二滑臂上，所述滑槽设置于所述第一承载叉和第二承载叉上。优选地，所述第一承载叉和所述第二承载叉为条状结构，且所述第一承载叉和所述第二承载叉的延伸方向与所述第一滑臂的延伸方向平行。优选地，第一驱动部和第二驱动部，第一驱动部用于驱动所述机械臂滑动，第二驱动部用于驱动所述第一承载叉和第二承载叉滑动。优选地，所述第一驱动部为齿轮传送带系统，所述齿轮传送带系统包括齿轮传送带和齿轮传送带驱动电机，所述齿轮传送带的一端与齿轮传送带驱动电机传动连接，所述齿轮传送带的另一端与所述机械臂连接，所述齿轮传送带驱动电机与机械臂滑轨之间相对固定。 优选地，所述第二驱动部包括第二驱动部驱动电机，与所述机械臂相对固定，所述第二驱动部驱动电机包括驱动轴，所述驱动轴的延伸方向与机械臂的滑动方向垂直；第一传动齿轮和第二传动齿轮，第一传动齿轮设置于第一承载叉上，第二传动齿轮设置于第二承载叉上，所述第一传动齿轮和第二传动齿轮与所述驱动电机的驱动轴同轴固定且规格相同；第一齿条，设置于所述第一承载叉且与第一传动齿轮哨合；第二齿条，设置于所述第二承载叉且与第二传动齿轮啮合；所述第一齿条和第二齿条规格相同。本技术还提供了一种真空传送设备，包括真空传送腔，所述真空传送腔内设有上述技术方案中提到的基板传送装置。本技术提供的真空传送设备的基板传送装置，包括机械臂滑轨；机械臂，可滑动地安装于所述机械臂滑轨上，且所述机械臂的滑动方向与所述机械臂滑轨的延伸方向平行；承载板，可滑动地安装于所述机械臂上，且所述承载板的滑动方向与机械臂滑轨的延伸方向平行；驱动系统，用于驱动所述机械臂和承载板滑动。本技术提供的基板传送装置中，基板传送装置具有两个工位，靠近机械臂滑轨A端的第一工位和靠近机械臂滑轨B端的第二工位；第一工位和第二工位均可进行基板的装载和卸载。为了便于对基板传送装置的工作原理以及工作过程进行描述，假设第二工位装载基板，而第一工位卸载基板，因此在驱动系统的驱动下，机械臂沿机械臂滑轨滑动到机械臂滑轨的B端，承载板在机械臂上沿A端指向B端的方向滑动外伸至第二工位的位置，进行装载基板；基板放置在承载板上之后，驱动系统反向驱动，机械臂滑动至机械臂滑轨的A端，承载板在机械臂上沿B端指向A端的方向滑动外伸至第一工位的位置，进行卸载基板；基板卸载后，承载板和机械臂滑动至初始位置准备进行对下一个基板的传送。本技术提供的基板传送装置运行时，基板从基板装载位置传送至基板卸载位置的过程中，基板始终位于承载板，且承载板只在机械臂上进行滑动，同时机械臂只在机械臂滑轨上进行滑动，不需要中间辅助设备，机械臂与机械臂滑轨之间以及机械臂与承载板 之间的滑动配合的连接关系稳定，在运行过程中不会对基板造成冲击，从而不会对基板造成损伤。所以，本技术提供的基板传送装置在传送基板时稳定可靠，不会对基板造成损伤。另外，本技术还提供了一种使用了上述技术方案中的基板传送装置的真空传送设备，也具有上述基板传送装置的优点；同时，由于上述基板传送装置基板的传送直接通过机械臂以及承载板的滑动实现，真空传送腔的内部空间的宽度只需要满足基板的通过即可，本技术提供的基板传送装置与上述
技术介绍
中提到的基板传送装置相比，节省了真空传送腔的空间。附图说明图I为现有技术中真空传送设备中基板传送装置的结构示意图；图2为本技术提供的基板传送装置的结构示意图；图3为本技术提供的真空传送设备中真空传送腔以及其内部设置的基板传送装置的结本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空传送设备的基板传送装置，其特征在于，包括：机械臂滑轨；机械臂，可滑动地安装于所述机械臂滑轨上，且所述机械臂的滑动方向与所述机械臂滑轨的延伸方向平行；承载板，可滑动地安装于所述机械臂上，且所述承载板的滑动方向与机械臂滑轨的延伸方向平行；驱动系统，用于驱动所述机械臂和承载板滑动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：关跃征，刘保力，吴平，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：