【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种基材支撑单元，更具体而言，涉及一种包括加热器的基材支撑单J Li ο
技术介绍
半导体制造设备包括在处理室中的用于支撑基材的支撑板。电热丝设置在支撑板内，以将基材加热到一定温度。这种电热丝以螺旋图案嵌入，彼此并连连接。在这种情况下，由于并联的电热丝的整个长度大于串联的电热丝，所以并联的电热丝可以更小的间隔排列。然而，由于并联的电 热丝的整个长度大于串联的电热丝，所以并联的电热丝不适宜在小区域内嵌入。此外，由于并联的电热丝朝向支撑板的边缘延伸，所以其长度增加，其电阻也增加。因此，可能很难获得所需量的热量。
技术实现思路
本专利技术提供一种用于均匀地处理基材的整个表面的设备。本专利技术的实施例提供一种基材支撑单元，包括在其上放置基材的支撑板；和设置在所述支撑板内以加热所述支撑板的加热件，其中所述加热件包括设置在所述支撑板的第一区域中的多根第一电热丝；和设置在所述支撑板的第二区域中的多根第二电热丝，第二区域不同于第一区域，其中各第一电热丝通过串联和并联中的一种彼此连接，和各第二电热丝通过串联和并联中的另一种彼此连接。在一些实施例中，各第一电热丝可以彼此并...
【技术保护点】
一种基材支撑单元，包括：在其上放置基材的支撑板；和设置在所述支撑板内以加热所述支撑板的加热件，其中所述加热件包括：设置在所述支撑板的第一区域中的多根第一电热丝；和设置在所述支撑板的第二区域中的多根第二电热丝，第二区域不同于第一区域，其中各第一电热丝通过串联和并联中的一种彼此连接，和各第二电热丝通过串联和并联中的另一种彼此连接。
【技术特征摘要】
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