一种易清洗的薄壁盘状物夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种易清洗的薄壁盘状物夹持装置，该装置由可旋转的卡盘主体及其边缘设置的至少两组夹持元件组成，夹持元件可以以其与卡盘主体的连接点为旋转中心进行摆动，其底端与卡盘主体连接有径向的压缩弹簧；清洗时同组夹持元件的动作一致，两组夹持元件交替打开和卡紧。通过采用同组夹持元件安装对外同极性磁铁，不同组夹持元件安装磁极相反磁铁；卡盘主体上均匀间隔设两组电磁铁。清洗初期两组电磁铁不通电，两组夹持装置处于压缩弹簧弹力作用下的夹紧状态，清洗时通过改变电磁铁中电流方向来使夹持元件交替打开。本实用新型专利技术可以对夹持元件与薄壁盘状物接触的地方进行清洗，从而提高薄壁盘状物的整体清洗质量。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及夹持平面盘状物的装置，具体涉及一种易清洗的薄壁盘状物夹持>J-U ρ α装直。
技术介绍
薄壁盘状物卡盘在领域内应用最多的是销夹盘、伯努利吸盘等。上述的薄壁 盘状物包括多种类型的盘状物，例如半导体晶片、光盘或是平板显示器。在公开号为ZL200910087488. 5的专利中公开了一种利用离心力将薄壁盘状物卡紧，利用磁铁的排斥力来打开晶片。在申请号为US5513668和US4903717的美国专利中公开了一种利用伯努利原理将薄壁盘状物固定的卡盘。利用伯努利原理在卡盘和薄壁盘状物之间形成一层气垫。利用气垫来保持薄壁盘状物。通过分布在薄壁盘状物圆周的夹持元件来实现径向定位。但是这些专利都有一个无法克服的缺点无法对夹持元件与薄壁盘状物接触的地方进行清洗，从而影响薄壁盘状物整体清洗质量。
技术实现思路
(一 )要解决的技术问题本技术要解决的技术问题是提供一种夹持薄壁盘状物的装置，可以对夹持元件与薄壁盘状物接触的地方进行清洗，从而提高薄壁盘状物的整体清洗质量。( 二 )技术方案为了解决上述技术问题，本技术提供了一种易清洗的薄壁盘状物夹持装置，包括旋转轴及可在所述旋转轴带动下旋转的卡盘主体，其特征在于，所述卡盘主体的边缘设置有至少两组夹持元件，所述每组夹持元件包括至少3个夹持元件,所述夹持元件可以以其与所述卡盘主体的连接点为旋转中心进行摆动，用于卡紧所述薄壁盘状物；所述夹持元件的底端与所述卡盘主体连接有径向的压缩弹簧，所述压缩弹簧用于为所述夹持元件提供卡紧力；所述夹持元件与所述卡盘主体之间设置有驱动部件，用于通过推动或吸引使所述夹持元件摆动；清洗时所述同组夹持元件的动作一致，所述两组夹持元件交替打开和卡紧。其中，所述驱动元件为气缸或电磁铁,当驱动部件为电磁铁时,所述夹持元件设置有相应的铁磁性材料。其中，所述夹持元件为两组，其上均设置有磁铁，所述同组夹持元件的磁铁极性一致，两组夹持元件之间的磁铁极性相反；所述卡盘主体的内围设置有多个电磁铁，所述电磁铁的个数大于等于所述夹持元件的个数，所述电磁铁的极性及时间均为可控。其中，所述不同组的夹持元件之间为间隔、均匀分布。其中，所述每组夹持元件的个数均为3个，所述电磁铁的个数为18个，其中9个一组，并间隔、均匀分布，同组电磁铁通入同向电流。其中，所述卡盘主体与所述夹持元件对应的位置上设置有限位结构，用于限制所述夹持元件相对于所述卡盘主体的摆动。其中，所述夹持元件的顶端设置有凹槽结构，用于夹紧所述薄壁盘状物。(三)有益效果上述技术方案所提供的易清洗的薄壁盘状物夹持装置，包括旋转轴及可在所述旋转轴带动下旋转的卡盘主体，其特征在于，所述卡盘主体的边缘设置有至少两组夹持元件，所述每组夹持元件包括至少3个夹持元件,所述夹持元件可以以其与所述卡盘主体的连接点为旋转中心进行摆动，用于卡紧所述薄壁盘状物；所述夹持元件的底端与所述卡盘主体连接有径向的压缩弹簧，所述压缩弹簧用于为所述夹持元件提供卡紧力；所述夹持元件与所述卡盘主体之间设置有驱动部件，用于通过推动或吸引使所述夹持元件摆动；清洗时所述同组夹持元件的动作一致，所述两组夹持元件交替打开和卡紧。本技术利用弹簧弹力的反作用力以及在旋转时作用在夹持元件上的离心力把薄壁盘状物卡紧，从而实现薄壁盘状物随同卡盘的高速旋转。 附图说明图I是本技术实施例的易清洗的薄壁盘状物夹持装置的结构示意图；图2是本技术实施例的易清洗的薄壁盘状物夹持装置的沿径向的剖视图；图3是本技术实施例的盘状卡盘的俯视图；图4是本技术实施例的薄壁盘状物卡盘卡紧状态下的局部结构示意图；图5为薄壁盘状物卡盘松弛状态下的局部结构示意图；图6为薄壁盘状物卡盘结构部分示意图；其中，I :第一组夹持元件；1':第二组夹持元件；2 :清洗薄壁盘状物地面装置；3 卡盘主体；4 电磁铁；4'电磁铁；4电磁铁；5 :压缩弹簧；7 :磁铁；8 :化学药液喷洒单元；9 :薄壁盘状物夹持装置；G :旋转中心；S1 :卡盘主体限位面；S2 :夹持元件限位面。具体实施方式以下结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。结合图I所示，本实施例提供了一种易清洗的薄壁盘状物夹持装置9，其包括旋转轴及可在旋转轴带动下旋转的卡盘主体3，卡盘主体3优选为圆盘状，卡盘主体3的边缘设置有至少两组夹持元件，每组夹持元件包括至少3个夹持元件,夹持元件可以以其与卡盘主体3的连接点为旋转中心G进行摆动，用于卡紧薄壁盘状物；夹持元件的底端与卡盘主体3连接有径向的压缩弹簧5，压缩弹簧5用于为夹持元件提供卡紧力，保证在低速运转离心力不够状态下，靠弹簧压缩力的反作用力保证夹持元件卡紧薄壁盘状物，避免薄壁盘状物相对卡盘主体3的相对转动，造成薄壁盘状物背面的划伤；夹持元件与卡盘主体3之间设置有驱动部件，用于通过推动或吸弓I使夹持元件摆动；清洗时同组夹持元件的动作一致，两组夹持元件交替打开和卡紧。不同组的夹持元件之间为间隔、均匀分布。本易清洗的薄壁盘状物夹持装置9适应广泛，其中夹持的薄壁盘状物可以为例如晶片、光盘或是平板显示器等，在生产工艺中均可试用本薄壁盘状物夹持装置9进行操作。驱动元件为气缸或电磁铁，当驱动部件为电磁铁时,夹持元件设置有相应的铁磁性材料。本实施例优选驱动部件为电磁铁，具体的夹持元件为两组，其上均设置有磁铁7，同组夹持元件的磁铁极性一致，两组夹持元件之间的磁铁极性相反；卡盘主体3的内围设置有多个电磁铁，电磁铁的个数大于等于夹持元件的个数，电磁铁的极性及时间均为可控。卡盘主体3与夹持元件对应的位置上设置有限位结构，用于限制夹持元件相对于卡盘主体3的摆动。保证每次夹持薄壁盘状物具有相同的夹紧力，防止夹紧力过小造成对薄壁盘状物的夹持不紧，或者夹紧力过大造成对薄壁盘状物的破坏。夹持元件的顶端设置有凹槽结构，用于夹紧薄壁盘状物。使用本技术的薄壁盘状物夹持装置的夹持薄壁盘状物时，其工艺过程如下参见图I，夹持元件在卡盘主体3上分布有两组，每组3个夹持元件，第一组夹持元件I内置磁铁7,磁铁N极朝外,第二组夹持元件I'内置磁铁7,磁铁S极朝外。夹持元件可以沿其旋转中心G摆动。·在工艺过程中，电磁铁不通电，卡盘主体2带动薄壁盘状物旋转。化学药液从化学药液喷洒单元8中喷到薄壁盘状物上表面，由于薄壁盘状物的旋转，能够使化学药液比较均匀的覆盖薄壁盘状物上表面，同时清洗薄壁盘状物下表面装置进行喷洒药液程序清洗薄壁盘状物下表面，如图中的清洗薄壁盘状物地面装置2。由于夹持元件与薄壁盘状物接触的地方存在药液的表面张力造成的阻力导致该处化学药液在甩干的过程中不能够完全甩干，以致化学药液的水分在空气蒸发后在夹持元件与薄壁盘状物接触的地方留下了水印，该水印在后续的工艺，如分子外延，会产生工艺不能接受的Haze。在第一阶段中，卡盘主体3以一定速度旋转，对电磁铁4'和4通电使电磁铁极性N极朝内，就会对第一组夹持元件I的内置磁铁7产生排斥力同时对第二组夹持元件I,的内置磁铁产生吸引力，从而使第一组夹持元件I打开。沿其旋转中心G逆时针摆动一定角度，使夹持机构SI面与卡盘整体机构的S2面接触，第一组夹持元件I完全打开。这时，残存在薄壁盘状本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种易清洗的薄壁盘状物夹持装置，包括旋转轴及可在所述旋转轴带动下旋转的卡盘主体，其特征在于，所述卡盘主体的边缘设置有至少两组夹持元件，所述每组夹持元件包括至少3个夹持元件，所述夹持元件可以以其与所述卡盘主体的连接点为旋转中心进行摆动，用于卡紧所述薄壁盘状物；所述夹持元件的底端与所述卡盘主体连接有径向的压缩弹簧，所述压缩弹簧用于为所述夹持元件提供卡紧力；所述夹持元件与所述卡盘主体之间设置有驱动部件，用于通过推动或吸引使所述夹持元件摆动；清洗时所述同组夹持元件的动作一致，所述两组夹持元件交替打开和卡紧。

【技术特征摘要】
1.一种易清洗的薄壁盘状物夹持装置，包括旋转轴及可在所述旋转轴带动下旋转的卡盘主体，其特征在干，所述卡盘主体的边缘设置有至少两组夹持元件，所述每组夹持元件包括至少3个夹持元件,所述夹持元件可以以其与所述卡盘主体的连接点为旋转中心进行摆动，用于卡紧所述薄壁盘状物；所述夹持元件的底端与所述卡盘主体连接有径向的压缩弹簧，所述压缩弹簧用于为所述夹持元件提供卡紧カ；所述夹持元件与所述卡盘主体之间设置有驱动部件，用于通过推动或吸引使所述夹持元件摆动；清洗时所述同组夹持元件的动作一致,所述两组夹持元件交替打开和卡紧。2.如权利要求I所述的易清洗的薄壁盘状物夹持装置，其特征在于，所述驱动部件为气缸或电磁鉄，当驱动部件为电磁铁时，所述夹持元件设置有相应的铁磁性材料。3.如权利要求2所述的易清洗的薄壁盘状物夹持装置，其特征在干，所述夹持元件为两组，其上...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴仪，王浩，李伟，王锐廷，张豹，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：