一种易清洗的薄壁盘状物夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种易清洗的薄壁盘状物夹持装置，该装置由可旋转的卡盘主体及其边缘设置的至少两组夹持元件组成，夹持元件可以以其与卡盘主体的连接点为旋转中心进行摆动，其底端与卡盘主体连接有径向的压缩弹簧；清洗时同组夹持元件的动作一致，两组夹持元件交替打开和卡紧。通过采用同组夹持元件安装对外同极性磁铁，不同组夹持元件安装磁极相反磁铁；卡盘主体上均匀间隔设两组电磁铁。清洗初期两组电磁铁不通电，两组夹持装置处于压缩弹簧弹力作用下的夹紧状态，清洗时通过改变电磁铁中电流方向来使夹持元件交替打开。本实用新型专利技术可以对夹持元件与薄壁盘状物接触的地方进行清洗，从而提高薄壁盘状物的整体清洗质量。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及夹持平面盘状物的装置，具体涉及一种易清洗的薄壁盘状物夹持>J-U ρ α装直。
技术介绍
薄壁盘状物卡盘在领域内应用最多的是销夹盘、伯努利吸盘等。上述的薄壁 盘状物包括多种类型的盘状物，例如半导体晶片、光盘或是平板显示器。在公开号为ZL200910087488. 5的专利中公开了一种利用离心力将薄壁盘状物卡紧，利用磁铁的排斥力来打开晶片。在申请号为US5513668和US4903717的美国专利中公开了一种利用伯努利原理将薄壁盘状物固定的卡盘。利用伯努利原理在卡盘和薄壁盘状物之间形成一层气垫。利用气垫来保持薄壁盘状物。通过分布在薄壁盘状物圆周的夹持元件来实现径向定位。但是这些专利都有一个无法克服的缺点无法对夹持元件与薄壁盘状物接触的地方进行清洗，从而影响薄壁盘状物整体清洗质量。
技术实现思路
(一 )要解决的技术问题本技术要解决的技术问题是提供一种夹持薄壁盘状物的装置，可以对夹持元件与薄壁盘状物接触的地方进行清洗，从而提高薄壁盘状物的整体清洗质量。( 二 )技术方案为了解决上述技术问题，本技术提供了一种易清洗的薄壁盘状物夹持装置，包括旋转轴及可在所述旋转轴带动下旋转的卡盘主本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种易清洗的薄壁盘状物夹持装置，包括旋转轴及可在所述旋转轴带动下旋转的卡盘主体，其特征在于，所述卡盘主体的边缘设置有至少两组夹持元件，所述每组夹持元件包括至少3个夹持元件，所述夹持元件可以以其与所述卡盘主体的连接点为旋转中心进行摆动，用于卡紧所述薄壁盘状物；所述夹持元件的底端与所述卡盘主体连接有径向的压缩弹簧，所述压缩弹簧用于为所述夹持元件提供卡紧力；所述夹持元件与所述卡盘主体之间设置有驱动部件，用于通过推动或吸引使所述夹持元件摆动；清洗时所述同组夹持元件的动作一致，所述两组夹持元件交替打开和卡紧。

【技术特征摘要】
1.一种易清洗的薄壁盘状物夹持装置，包括旋转轴及可在所述旋转轴带动下旋转的卡盘主体，其特征在干，所述卡盘主体的边缘设置有至少两组夹持元件，所述每组夹持元件包括至少3个夹持元件,所述夹持元件可以以其与所述卡盘主体的连接点为旋转中心进行摆动，用于卡紧所述薄壁盘状物；所述夹持元件的底端与所述卡盘主体连接有径向的压缩弹簧，所述压缩弹簧用于为所述夹持元件提供卡紧カ；所述夹持元件与所述卡盘主体之间设置有驱动部件，用于通过推动或吸引使所述夹持元件摆动；清洗时所述同组夹持元件的动作一致,所述两组夹持元件交替打开和卡紧。2.如权利要求I所述的易清洗的薄壁盘状物夹持装置，其特征在于，所述驱动部件为气缸或电磁鉄，当驱动部件为电磁铁时，所述夹持元件设置有相应的铁磁性材料。3.如权利要求2所述的易清洗的薄壁盘状物夹持装置，其特征在干，所述夹持元件为两组，其上...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴仪，王浩，李伟，王锐廷，张豹，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：