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本实用新型公开了一种易清洗的薄壁盘状物夹持装置,该装置由可旋转的卡盘主体及其边缘设置的至少两组夹持元件组成,夹持元件可以以其与卡盘主体的连接点为旋转中心进行摆动,其底端与卡盘主体连接有径向的压缩弹簧;清洗时同组夹持元件的动作一致,两组夹持元...该专利属于北京七星华创电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京七星华创电子股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种易清洗的薄壁盘状物夹持装置,该装置由可旋转的卡盘主体及其边缘设置的至少两组夹持元件组成,夹持元件可以以其与卡盘主体的连接点为旋转中心进行摆动,其底端与卡盘主体连接有径向的压缩弹簧;清洗时同组夹持元件的动作一致,两组夹持元...