用于包括光电装置的各种装置的支撑结构制造方法及图纸

当前实施例通常涉及用于薄膜部件的支撑结构和用于制造支撑结构的方法。在一个实施例中，一种装置包括：器件结构，包括电子器件的部分；支撑结构，耦合到器件结构；其中支撑结构补充器件结构的特征，并且支撑结构包括：金属部件，耦合到器件结构；以及非金属部件，耦合到金属部件。支撑部件可以补充器件结构的结构的和机械的完整性以及器件结构的功能操作。在一个实施例中，金属部件包括金属材料的至少一层，并且非金属部件包括非金属材料(例如聚合物材料等)的至少一层。金属部件可以相对于器件结构具有更大刚度特性，并且非金属部件可以相对于金属层部件具有更大柔韧度特性。支撑结构可以被配置成朝着器件结构反射光。支撑结构也可以被配置成从器件结构导电。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施例通常涉及各种装置(例如包括光伏、光电、光学、半导体、电子薄膜器件等)的制造和使用，并且在一些实施例中更具体地涉及与装置关联的支撑结构的配置和制造。
技术介绍
各种器件和电路经常在许多应用中用来实现有利结果。器件和电路可以用来增加在各种活动(例如发电、信息处理、通信等)中增加生产率并且减少成本。器件(例如包括光伏器件、太阳能转换器件、光电器件、光学器件、光子器件、机械器件、半导体器件、电子薄膜器件、其它薄膜器件等)可以包括薄的膜或层。制造和利用薄膜器件可能很复杂和棘手。薄膜部件可能很难制造和操纵，因为膜通常很易碎并且具有窄尺度。制造过程和在制造之后的使用环境可能比较严酷和有害于薄膜器件的相对精微的特性和特征。薄膜可能很易受物理损坏(例如在很小的力之下破裂和断裂等)。薄膜器件可以包括在结构或者机械故障之前不允许大量或者任何变形的相对脆弱部件或者特性。这样的故障可能不利地影响薄膜部件的生产产量和现场使用有效性。
技术实现思路
当前实施例通常涉及用于薄膜部件的支撑结构和用于制造支撑结构的方法。在一个实施例中，一种装置包括器件结构，包括器件的部分；以及支撑结构，耦合到器件结构；其中支撑结构补充器件结构的特征。支撑结构可以包括耦合到器件结构的金属部件。支撑结构可以包括耦合到金属部件的非金属部件。支撑部件可以补充器件结构的结构的和机械的完整性。支撑部件可以补充器件结构的功能操作。在一个实施例中，金属部件包括金属材料的至少一层。在一个实施例中，非金属部件包括非金属材料(例如聚合物材料等)的至少一层。在一个示例实施方式中，金属部件可以相对于器件结构具有更大刚度特性，并且非金属部件可以相对于金属层部件具有更大柔韧度特性。支撑结构可以被配置成朝着器件结构反射光。支撑结构也可以被配置成从器件结构导电。附图说明为了示例性地说明当前实施例的原理而包括并入于本说明书中并且形成本说明书一部分的附图，并且附图并非旨在于使本专利技术限于其中所示特定实施方式。除非另有具体指明，附图未按照比例。图IA是根据本专利技术一个实施例的由牺牲层附着到生长衬底的示例装置的部分的框图。图IB是根据本专利技术一个实施例的示例装置的部分的框图，在该装置中，支撑部件包括金属部件和非金属部件。图IC是根据本专利技术一个实施例的在从生长衬底分离的过程中的示例装置的部分的框图。图ID是根据本专利技术一个实施例的从生长衬底分离的示例装置的框图。图IE是根据本专利技术一个实施例的示例薄膜装置制造方法的流程图。 图IF是根据本专利技术一个实施例的示例支撑结构形成过程的框图。图2A是根据本专利技术一个实施例的装置的另一示例支撑结构的框图。图2B是根据本专利技术一个实施例的从生长衬底分离的示例装置的部分的框图。图3A是根据本专利技术一个实施例的装置的又一示例支撑结构的框图。图3B是根据本专利技术一个实施例的从生长衬底分离的示例装置的部分的框图。图3C是根据本专利技术一个实施例的具有电介质结构的示例装置的框图。图4是图示了根据本专利技术一个实施例的可变厚度的支撑层的张力与应变之比的图形。图5是图示了根据本专利技术一个实施例的可变厚度的支撑层的层叠与膜之比的图形。图6是图示了根据本专利技术一个实施例的可变厚度的支撑层的应变与曲率之比的图形。图7是图示了根据本专利技术一个实施例的可变厚度的支撑层的力矩与应变之比的图形。具体实施例方式现在将更具体参照优选实施例，在附图中图示了这些实施例的例子。尽管将结合这些实施例描述本专利技术，但是将理解它们并非旨在于使本专利技术限于这些实施例。恰好相反，本专利技术旨在于覆盖可以在所附权利要求的精神实质内包括的替代、修改和等同物。此外，在下文的详细说明中，阐述了许多的具体细节以便向本领域的普通技术人员提供理解。然而本领域普通技术人员将理解无这些具体细节也可以实现本专利技术。在一些实例中，尚未详细描述其它实施例、方法、过程、部件和电路以免不必要地模糊本专利技术的方面。当前描述的实施例中的许多实施例通常涉及与多种装置(例如包括光伏器件、太阳能转换器件、光电器件、光学器件、光子器件、机械器件、半导体器件、电子薄膜器件、其它薄膜器件等)关联的支撑结构。装置可以包括器件结构和配置成补充器件结构的特征的支撑结构。器件结构和支撑结构可以配置于层中。应当理解支撑结构可以用多种方式来补充(添加、增强、辅助、增加等)器件的特征(例如功能、特性等)。支撑结构可以添加和增强结构的和机械的完整性(例如减少对破裂、断裂等的敏感性)而又辅助功能操作(例如增加光学反射、提高导热性、在部件之间建立电连通性等)。支撑结构也可以用来有助于紧握和保持薄膜器件结构(例如用于对准等)。应当理解器件结构和支撑结构可以包括多种配置。在一个示例实施方式中，器件结构可以包括薄膜层。在一个实施例中，支撑结构可以包括至少一个金属层。在一个实施例中，支撑结构可以包括至少一个非金属层(例如聚合物、共聚物、低聚物等)。在一个实施例中，支撑结构可以包括至少一个金属层和至少一个非金属层二者。在说明书的以下章节中呈现关于包括支撑结构的装置的实施例的附加信息。在关于具有支撑结构的外延剥离(ELO ;epitaxial lift off)薄膜器件以及用来形成这样的器件和支撑结构的方法的许多实例中说明以下描述。应当理解本专利技术不限于这样的实施例并且可以在多种其它配置和 应用中加以利用。在一些实施例中，支撑结构和方法可以与电子器件、光电器件或者光学器件关联。也理解诸如包括、包含等措词为包含意义和开放式并且未排除无论是否记载的附加元素或者过程操作。图IA是根据本专利技术一个实施例的由牺牲层104附着到生长衬底102的装置100的部分的框图。装置100包括支撑结构128和器件结构106。应当理解支撑结构128可以补充用于装置100的多种特征。支撑结构128可以补充器件结构的结构的和机械的完整性(例如增强用于避免或者耐受与破裂传播、操纵张力、弯曲半径、弯曲力等关联的不利影响的能力)。支撑结构128也可以补充器件结构的功能操作(例如朝着器件结构106反射光、从器件结构106导热、从器件结构106导电等)。也应当理解支撑结构128可以包括多种配置。图IB是根据本专利技术一个实施例的装置100的框图，在该装置中，支撑部件128包括金属部件120和非金属部件124。支撑结构128也可以包括在金属部件120与非金属部件124之间的粘合部件122。金属部件120可以包括一个或者多个金属材料(例如银、镍、铜、镍-铜合金、钥、钨、钴、铁、镁、其合金、其衍生物、其组合等)层，并且非金属部件124可以包括一个或者多个非金属材料(例如聚合物材料、共聚物材料、低聚物材料、聚对苯二甲酸乙二醇酯聚酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、其衍生物等)层。在以下章节中进一步描述包括支撑结构的装置的形成和利用。在一个实施例中，在器件结构106中包括薄膜。向器件结构施加力(例如弯曲、拉动、按压、扭曲等)可以在器件结构内诱发应力。器件结构耐受与力的施加关联的不利影响(例如变形故障、裂缝诱发的故障等)的能力落在器件结构106本身在未耦合到支撑结构128时的强度内。器件结构106本身可能易碎和脆弱并且在无来自支撑结构128的支撑时面临破裂和断裂。当器件结构106耦合到支撑结构128时，支撑结构128可以支撑器件结构106并且补充静态的和机械本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.01.22 US 61/297,702;2010.01.22 US 61/297,6921.一种装置，包括 器件结构，包括电子器件的部分； 支撑结构，耦合到所述器件结构；其中所述支撑结构补充所述器件结构的特征，并且所述支撑结构包括 金属部件，耦合到所述器件结构；以及 非金属部件，耦合到所述金属部件。2.根据权利要求I所述的装置，其中所述支撑部件补充所述器件结构的结构的和机械的完整性。3.根据权利要求I所述的装置，其中所述支撑部件补充所述器件结构的功能操作。4.根据权利要求I所述的装置，其中所述金属部件包括金属材料的至少一层。5.根据权利要求I所述的装置，其中所述非金属部件包括非金属材料的至少一层。6.根据权利要求I所述的装置，其中所述非金属部件包括聚合物材料。7.根据权利要求I所述的装置，其中所述金属部件相对于所述器件结构具有更大刚度特性。8.根据权利要求I所述的装置，其中所述非金属部件相对于所述金属层部件具有更大柔韧度特性。9.根据权利要求I所述的装置，其中所述支撑结构被配置成朝着所述器件结构反射光。10.根据权利要求I所述的装置，其中所述支撑结构被配置成从所述器件结构导电。11.一种薄膜装置制造方法，包括 在生长衬底上添加牺牲层； 在所述牺牲层上沉积薄膜器件层； 执行支撑结构形成过程以在所述薄膜器件层上形成支撑结构，以及 去除所述牺牲层。12.根据权利要求11所述的薄膜装置制造...

【专利技术属性】
技术研发人员：何刚，T·J·格米特，M·阿彻，
申请(专利权)人：阿尔塔设备公司，
类型：
国别省市：