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当前实施例通常涉及用于薄膜部件的支撑结构和用于制造支撑结构的方法。在一个实施例中，一种装置包括：器件结构，包括电子器件的部分；支撑结构，耦合到器件结构；其中支撑结构补充器件结构的特征，并且支撑结构包括：金属部件，耦合到器件结构；以及非金属部...
该专利属于阿尔塔设备公司所有，仅供学习研究参考，未经过阿尔塔设备公司授权不得商用。

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