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本发明提供一种基材支撑单元，其包括：在其上放置基材的支撑板；和设置在所述支撑板内以加热所述支撑板的加热件。所述加热件包括：设置在所述支撑板的第一区域中的多根第一电热丝；和设置在所述支撑板的第二区域中的多根第二电热丝，第二区域不同于第一区域。...
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