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本发明涉及一种用于保持基板的基板载体，所述基板载体由承载框架(1)和至少一个基板容纳件(2)构成。承载框架(1)具有自支撑的而且挠曲刚性的框架结构，该框架结构由彼此成角度地布置的纵向支撑条(6)与横向支撑条(7)构成，所述纵向支撑条(6)和...
该专利属于霍赫劳股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过霍赫劳股份有限公司授权不得商用。

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