半导体封装件及其制造方法技术

技术编号:8162574 阅读:163 留言:0更新日期:2013-01-07 20:09
本发明专利技术提供了一种半导体封装件及其制造方法。该半导体封装件包括:基板;芯片,设置在基板上,芯片包括焊盘,焊盘位于芯片的上表面中;以及键合引线,结合在芯片的焊盘和基板之间,以将芯片电连接到基板,其中,键合引线的线弧高度H满足式子d′+h=H<d+h,其中,d′表示键合引线的位于芯片上的部分的直径,h表示键合引线的下表面到焊盘的表面的距离,d表示键合引线的原始直径。根据本发明专利技术,可以实现较低的线弧高度,从而利于半导体封装件的高度集成和小型化。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体封装领域,具体地讲,涉及一种具有低线弧高度的。
技术介绍
在半导体封装过程中,为了将芯片上的焊盘与基板(或引线框架)电连接,通常采用引线键合工艺来实现二者的互连。随着半导体封装件的高密度、小型化且轻薄化的趋势,要求弓I线键合的线弧高度越来越低。引线键合方法包括楔形焊接和球形焊接两种技术。由于与楔形焊接技术相比,球形焊接技术操作更为灵活且能够实现更好的精度控制,所以目前广泛使用的是球形焊接技术。在球形焊接工艺中,劈刀(通常为毛细管劈刀(capillary))移动到芯片焊盘,即,第一 二点焊接包括针脚式键合和拉尾线。第二点焊接之后进行拉尾线以为下一个键合金属球的形成做准备。然后,将劈刀升高到合适的高度以控制尾线长度,这时尾端断裂,然后劈刀上升到形成球的高度。通过上述操作,在芯片上焊料凸起的颈部处形成线弧。图I示出了根据现有技术的采用引线键合形成的线弧的示意图。根据如上所述的方法,通过在芯片10'上的焊盘11'处采用劈刀对引线键合的第一点做一次按压,使得键合引线13'在焊盘11'上形成焊料凸起12',如图I所示,因此,芯片10'利用焊盘11'通过键合引线13'与基板或本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体封装件,其特征在于所述半导体封装件包括:基板;芯片,设置在基板上,芯片包括焊盘,焊盘位于芯片的上表面中;以及键合引线,结合在芯片的焊盘和基板之间,以将芯片电连接到基板,其中,键合引线的线弧高度H满足式子d′+h=H<d+h,其中,d′表示键合引线的位于芯片上的部分的直径,h表示键合引线的下表面到焊盘的表面的距离,d表示键合引线的原始直径。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘海
申请(专利权)人:三星半导体中国研究开发有限公司三星电子株式会社
类型:发明
国别省市:

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