光刻机硅片台驱动装置制造方法及图纸

本发明专利技术揭示了一种光刻机硅片台驱动装置，包括：安装座，其两端之间设置有连接架；驱动单元，设置于所述安装座的一端；连接板，一端连接于所述驱动单元，另一端向所述连接架延伸；簧片，一端设置于所述连接架上，另一端连接滚轮单元，两端之间设置有顶板，且，所述驱动单元驱动连接板向连接架方向运动，使该连接板的另一端将力作用于所述顶板上。该驱动装置结构筒单，垂向尺寸小，垂向位置可收回，能实现快速、简便自如地移动硅片台。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光刻机
，特别是涉及ー种光刻机硅片台驱动装置。
技术介绍
光刻是半导体制造过程中一道非常重要的エ序，它是将一系列掩模版上的芯片图形通过曝光依次转移到硅片相应层上的エ艺过程，被认为是大規模集成电路制造中的核心步骤。这一系列复杂而耗时的光刻エ艺主要由相应的光刻机来完成。通常光刻机中配置有硅片台，用于承载硅片，为其提供运动平台，以实现X、Y大行程曝光运动。而光刻机在实际使用中(包括光刻机整机系统的集成、整机维修维护等)，需要定期将硅片台移至光刻机主体以外或恢复其原来的位置。而硅片台对外界力的干扰有严格要求，故需增加平衡质量来抵消高速运动对硅片台框架的反作用力，再加上硅片台支撑框架以及为配合其正常工作而设计的电缆、传感器、管道等部件，整个硅片台的重量较大。 为此，需要为硅片台配置相应的移动装置，以保证方便硅片台的移动与定位。具体请參考申请号为200910055189.3的中国专利申请，其于2009年12月23日公开了ー种光刻机硅片台移动装置。如图I至图3所示，光刻机包括支撑框架12、物镜13、主基板14、硅片台15和硅片台移动装置16。该支撑框架12固定在地基11上，物镜13和主基板14设置在支撑框架12上，硅片台15设置于物镜13的下方，在硅片台移动装置16的承载下移入或移出支撑框架12。硅片台移动装置16包括支撑板160、气垫装置161、气囊17以及驱动装置18。其中，驱动装置18由驱动支架181、滚轮182、传动装置183、驱动电机184和片簧185构成。具体，当需要将硅片台15移出支撑框架12吋，缓慢释放气囊17 (包括第一、第二组气囊171、172)内的气体，并打开气垫装置161的开关使其工作，以在气垫装置161和地基11之间形成气垫。随着气囊17内的气体逐渐减少,娃片台15的高度逐渐下降，当娃片台15的高度下降到一定程度时，驱动装置18上的滚轮182与地基11接触，驱动电机184通过传动装置183带动滚轮182在地基11上缓慢滚动，将硅片台15移出支撑框架12。相反的，当需要将硅片台15移入到支撑框架12内时，打开气垫装置161的开关使其工作，以在该气垫装置16与地基11之间形成气垫,驱动装置18的驱动电机184通过传动装置183带动滚轮反向旋转，将硅片台15移入到支撑框架12内，而后对气囊进行充气，直到硅片台15升高到所需高度。可见，以上移动装置方便了硅片台的移动与定位，然而，却存在如下缺点首先，驱动装置18的滚轮182其垂向位置是不可调的，即驱动装置18不工作吋，其滚轮182的垂向位置无法收回，这样容易与地基11接触，导致地基11振动直接传入硅片台15，而影响其运动精度。其次，驱动装置18的驱动支架181采用整体式结构，导致该驱动装置18尤其是滚轮182的安装较为困难。另外，该驱动装置18各个部件之间存在较大的摩擦力，在使用中容易损耗，导致使用寿命缩短。为此，对光刻机硅片台驱动装置进行重新设计，以实现硅片台的移动，实为本领域一重要课题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种光刻机硅片台驱动装置，以解决现有驱动装置在非エ作状态下滚轮垂向位置无法收回的问题。为解决以上技术问题，本专利技术提供一种光刻机硅片台驱动装置，包括安装座，设置有连接架；驱动单元，设置于所述安装座的一端；连接板，一端连接于所述驱动単元，另一端向所述连接架延伸；簧片，一端连接于所述连接架上，另一端连接滚轮单元，所述簧片中间延伸有顶板，且，所述驱动単元驱动连接板向连接架方向运动，使该连接板的另一端将力作用于所述顶板上。进ー步的，所述簧片为分段结构，包括连杆和至少两个柔性铰链，所述柔性铰链与所述连杆交替连接。进ー步的，所述滚轮単元包括电机支座，连接所述簧片的另一端；电机，设置于所述电机支座的一端；滚轮主轴，设置于所述电机支座上，且一端与所述电机主轴连接；滚轮，穿过设置于所述滚轮主轴上，并以所述滚轮主轴中心対称。进ー步的，所述滚轮主轴通过第一轴承支架与第二轴承支架设置于所述电机支座上，且所述第一轴承支架、第二轴承支架与滚轮主轴之间分别设置有第一轴承与第二轴承。进ー步的，所述滚轮单元还包括联轴器，连接所述滚轮主轴和电机主轴。进ー步的，所述滚轮的外立面是圆柱面，其圆柱面材料采用摩擦系数大的橡胶或聚氨酷。进ー步的，所述连接板的另一端为弧面。进ー步的，所述的光刻机硅片台驱动装置还包括引导装置，其包括导轨，设置于所述安装座上；滑块，ー侧具有与所述导轨相匹配的凹槽，另ー侧连接所述连接板。进ー步的，光刻机硅片台驱动装置还包括滚珠，设置在所述导轨与滑块之间。进ー步的，所述凹槽为矩形凹槽或燕尾形凹槽。进ー步的，所述驱动单元为气缸。可见，以上光刻机硅片台驱动装置于其本身设置了垂向位置可以调节的滚轮单元，具体利用一驱动单元驱动连接板，进而将力作用于一端固定的簧片上的顶板，使顶板推动簧片另一端产生垂向位移，进而带动簧片另一端上的滚轮单元产生垂向位移。这样，当驱动装置工作吋，驱动装置的滚轮单元向下运动，与地基接触；当驱动装置不工作吋，驱动单元驱动连接板往回运动，最終使得连接板不再有力作用于顶板，从而簧片恢复到原始状态，使得滚轮单元不再与地基接触，如此，便收回了滚轮单元的垂向位置，地基振动就不能直接传入硅片台，从而保证实现高精度运动性能。附图说明图I至图3为一现有的光刻机娃片台移动装置不意图；图4为本专利技术一实施例所提供的光刻机硅片台驱动装置的立体结构示意图5为本专利技术一实施例所提供的光刻机硅片台驱动装置的俯视图；图6为本专利技术一较佳实施例所提供的光刻机硅片台驱动装置的簧片的结构示意图；图7为本专利技术一较佳实施例所提供的光刻机硅片台驱动装置的滚轮单元的结构示意图；图8为本专利技术一较佳实施例所提供的光刻机硅片台驱动装置的引导装置的结构示意图。具体实施例方式为让本专利技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举示例性实施例，并配合附图，作详细说明如下。 光刻机在实际使用中(包括光刻机整机系统的集成、整机维修维护等)，需要定期将硅片台移至光刻机主体以外或恢复其原来的位置。而硅片台的重量较大，需要一种驱动装置来使其移动变得更加简便，而现有技术中的驱动装置存在滚轮垂向位置不能收回的问题，这主要是因为现有驱动装置自身对滚轮并无任何调整，滚轮只有在外力作用下才会产生垂向カ的作用，导致其在非工作状态下，即无外力作用下，是无法实现垂向位置的变化，对实际应用不利，尤其是对于地基不是很平的情况下。为此，本专利技术重新设计了驱动装置，其具有可以收回的滚轮端，在滚轮工作前后，可以自身调节滚轮端的垂向位置，使其更适于实际应用。具体请參考图4与图5，其分别为本专利技术ー实施列所提供的光刻机硅片台驱动装置的立体结构示意图与俯视图。如图所示，该光刻机硅片台驱动装置包括安装座41、驱动单元42、连接板43、簧片44和滚轮单元45。其中安装座41设置有连接架46 ;驱动单元42设置于安装座41的一端；连接板43的一端连接于驱动单元42,另一端向连接架46延伸；簧片44的一端连接于连接架43上，另一端连接滚轮单元45，且簧片44中间延伸有顶板47。从图中可以看出，驱动单元42驱动连接板43向连接架46方向运动，使该连接板43的另一端(端面431)将カ作用于顶板47上。下面详述以上驱动装置的工作原理如本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光刻机硅片台驱动装置，其特征是，包括：安装座，设置有连接架；驱动单元，设置于所述安装座的一端；连接板，一端连接于所述驱动单元，另一端向所述连接架延伸；簧片，一端连接于所述连接架上，另一端连接滚轮单元，所述簧片中间延伸有顶板，且，所述驱动单元驱动连接板向连接架方向运动，使该连接板的另一端将力作用于所述顶板上。

【技术特征摘要】
1.一种光刻机硅片台驱动装置，其特征是，包括 安装座，设置有连接架； 驱动单元，设置于所述安装座的一端； 连接板，一端连接于所述驱动单元，另一端向所述连接架延伸； 簧片，一端连接于所述连接架上，另一端连接滚轮单元，所述簧片中间延伸有顶板，且，所述驱动单元驱动连接板向连接架方向运动，使该连接板的另一端将力作用于所述顶板上。2.根据权利要求I所述的光刻机硅片台驱动装置，其特征是，所述簧片为分段结构，包括连杆和至少两个柔性铰链，所述柔性铰链与所述连杆交替连接。3.根据权利要求I所述的光刻机硅片台驱动装置，其特征是，所述滚轮单元包括 电机支座，连接所述簧片的另一端； 电机，设置于所述电机支座的一端； 滚轮主轴，设置于所述电机支座上，且一端与所述电机主轴连接； 滚轮，穿过设置于所述滚轮主轴上，并以所述滚轮主轴中心对称。4.根据权利要求3所述的光刻机硅片台驱动装置，其特征是，所述滚轮主轴通过第一轴承支架与第二轴承支架设置于所述电...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘育，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：