光刻机硅片台驱动装置制造方法及图纸

本发明专利技术揭示了一种光刻机硅片台驱动装置，包括：安装座，其两端之间设置有连接架；驱动单元，设置于所述安装座的一端；连接板，一端连接于所述驱动单元，另一端向所述连接架延伸；簧片，一端设置于所述连接架上，另一端连接滚轮单元，两端之间设置有顶板，且，所述驱动单元驱动连接板向连接架方向运动，使该连接板的另一端将力作用于所述顶板上。该驱动装置结构筒单，垂向尺寸小，垂向位置可收回，能实现快速、简便自如地移动硅片台。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光刻机
，特别是涉及ー种光刻机硅片台驱动装置。
技术介绍
光刻是半导体制造过程中一道非常重要的エ序，它是将一系列掩模版上的芯片图形通过曝光依次转移到硅片相应层上的エ艺过程，被认为是大規模集成电路制造中的核心步骤。这一系列复杂而耗时的光刻エ艺主要由相应的光刻机来完成。通常光刻机中配置有硅片台，用于承载硅片，为其提供运动平台，以实现X、Y大行程曝光运动。而光刻机在实际使用中(包括光刻机整机系统的集成、整机维修维护等)，需要定期将硅片台移至光刻机主体以外或恢复其原来的位置。而硅片台对外界力的干扰有严格要求，故需增加平衡质量来抵消高速运动对硅片台框架的反作用力，再加上硅片台支撑框架以及为配合其正常工作而设计的电缆、传感器、管道等部件，整个硅片台的重量较大。 为此，需要为硅片台配置相应的移动装置，以保证方便硅片台的移动与定位。具体请參考申请号为200910055189.3的中国专利申请，其于2009年12月23日公开了ー种光刻机硅片台移动装置。如图I至图3所示，光刻机包括支撑框架12、物镜13、主基板14、硅片台15和硅片台移动装置16。该支撑框架12固定在地基11上，物本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光刻机硅片台驱动装置，其特征是，包括：安装座，设置有连接架；驱动单元，设置于所述安装座的一端；连接板，一端连接于所述驱动单元，另一端向所述连接架延伸；簧片，一端连接于所述连接架上，另一端连接滚轮单元，所述簧片中间延伸有顶板，且，所述驱动单元驱动连接板向连接架方向运动，使该连接板的另一端将力作用于所述顶板上。

【技术特征摘要】
1.一种光刻机硅片台驱动装置，其特征是，包括 安装座，设置有连接架； 驱动单元，设置于所述安装座的一端； 连接板，一端连接于所述驱动单元，另一端向所述连接架延伸； 簧片，一端连接于所述连接架上，另一端连接滚轮单元，所述簧片中间延伸有顶板，且，所述驱动单元驱动连接板向连接架方向运动，使该连接板的另一端将力作用于所述顶板上。2.根据权利要求I所述的光刻机硅片台驱动装置，其特征是，所述簧片为分段结构，包括连杆和至少两个柔性铰链，所述柔性铰链与所述连杆交替连接。3.根据权利要求I所述的光刻机硅片台驱动装置，其特征是，所述滚轮单元包括 电机支座，连接所述簧片的另一端； 电机，设置于所述电机支座的一端； 滚轮主轴，设置于所述电机支座上，且一端与所述电机主轴连接； 滚轮，穿过设置于所述滚轮主轴上，并以所述滚轮主轴中心对称。4.根据权利要求3所述的光刻机硅片台驱动装置，其特征是，所述滚轮主轴通过第一轴承支架与第二轴承支架设置于所述电...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘育，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：