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本发明揭示了一种光刻机硅片台驱动装置，包括：安装座，其两端之间设置有连接架；驱动单元，设置于所述安装座的一端；连接板，一端连接于所述驱动单元，另一端向所述连接架延伸；簧片，一端设置于所述连接架上，另一端连接滚轮单元，两端之间设置有顶板，且，...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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