【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种太阳能光伏电池，特别涉及一种多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路，属于太阳能电池制造领域。
技术介绍
兴起于上世纪八十年代的多晶硅太阳电池技术，经过进三十年的积累与改进，已成功将该技术应用于大规模多晶硅太阳电池生产中。全球光伏发电装机总量的突破，得益于诸如德国Centrotherm Photovoltaics、荷兰Tempress Systems等公司提供的卓越的管式扩散方案。这些适用于多晶硅的管式扩散炉从控温方式、抽排风处理、软着陆等系统都进行了独特的设计，满足多晶硅大规模生产的需要。如图2所示，传统扩散方法的大氮进气管路设置于磷源管路的前端，由于大氮的气流干扰，不利于磷源的快速导出，这种设计使得扩散过程中磷源利用率较低。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述不足，提供了一种扩散过程中磷源利用率较高的多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路。本技术的目的是这样实现的一种多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路包括进气主管路，所述进气主管路的前端与管式扩散炉的进气端连接，所述进气主管路的后端连接有氧气进气管路和大氮进气管路，所述进气主管路的中间通过磷源管路连接有磷源瓶，所述磷源瓶上连接有小氮进气管路。本技术的有益效果是本技术多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路，大氮进气管路设置于磷源管路的后端，大氮可以迅速将磷源带入管式扩散炉的炉管，从而提高了磷源利用率。附图说明图I为本技术多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路的进气管路示意图。图2为传统多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路的进气管路示意图。其中进气主管路I管式扩散炉2氧气进气管路...
【技术保护点】
一种多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路，其特征在于所述进气管路包括进气主管路（1），所述进气主管路（1）的前端与管式扩散炉（2）的进气端连接，所述进气主管路（1）的后端连接有氧气进气管路（3）和大氮进气管路（4），所述进气主管路（1）的中间通过磷源管路（5）连接有磷源瓶（6），所述磷源瓶（6）上连接有小氮进气管路（7）。
【技术特征摘要】
1. 一种多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路，其特征在于所述进气管路包括进气主管路(1)，所述进气主管路(I)的前端与管式扩散炉(2)的进气端连接，所述进气主管...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋令枝，吴胜勇，吕加先，张涌，
申请(专利权)人：苏州盛康光伏科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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