【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种太阳能电池生产中,具体的说是一种将晶硅太阳能电池异常镀膜后的硅片表面氮化硅膜去除的方法。
技术介绍
在等离子体增强化学气相沉积(英文简称PECVD)后,由于异常放电等不确定因素,造成硅片表面沉积的非单纯氮化硅膜异常,氮化硅膜表现为发红、发黄、彩虹片等色差片,影响硅片的外观效果和转换效率,无法正常流入下一道工序。所以需要将膜去掉进行返工处理,保证返工流程的顺利进行。
技术实现思路
本专利技术的目的是要提供一种,使硅片表面更加洁净,方便硅片的再一次制绒,提高硅片外观效果和转换效率。本专利技术的目的是这样实现的:该方法包括以下步骤: ①、氢氟酸去膜:在酸处理槽中加入130升电阻率为18兆欧的纯水,然后加入24升浓度为49%的电子级(EL级)氢氟酸(HF),在常温下将待处理的异常镀膜片浸入该槽溶液中反应15分钟,待反应结束后放入漂洗槽中漂洗,经甩干后得到处理后的多晶硅片待用。②、混酸处理:在湿刻机酸处理槽中加入90升电阻率为18兆欧的纯水,然后加入30升浓度为49%的电子级(EL级)氢氟酸(HF)和175升浓度为70%的电子级(EL级)硝酸(HNO3),在传动速度为0.55m/min,温度4°C的条件下,将步骤①中处理后的多晶硅片膜面向下,逐一摆放到滚轮上,下表面与混和酸液体相互接触,进行去膜处理,反应时间为4分钟。本专利技术由于采用上述处理方法,使得经过处理的硅片表面氮化硅膜完全去除干净,硅片表面不会有残留物,对于硅片的绒面损伤很小,方便硅片的再一次制绒,保证生产流程的顺利进行等优点。【附图说明】图1是未经过本专利技术所述表面处理的 ...
【技术保护点】
一种多晶硅镀膜异常硅片表面的处理方法,其特征在于:该方法包括以下步骤:①、氢氟酸去膜:在酸处理槽中加入130升电阻率为18兆欧的纯水,然后加入24升浓度为49%的电子级氢氟酸,在常温下将待处理的异常镀膜片浸入该槽溶液中反应15分钟,待反应结束后放入漂洗槽中漂洗,经甩干后后得到处理后的多晶硅片待用;②、混酸处理:在湿刻机酸处理槽中加入90升电阻率为18兆欧的纯水,然后加入30升浓度为49%的电子级氢氟酸和175升浓度为70%的电子级硝酸,在传动速度为0.55m/min,温度4℃的条件下,将步骤①处理后的多晶硅片膜面向下,逐一摆放到滚轮上,下表面与混和酸液体相互接触,进行去膜处理,反应时间为4分钟。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:丁彦龙,刘万学,曲爽,王月,王磊,李岩峰,韩丽,侯文会,
申请(专利权)人:吉林庆达新能源电力股份有限公司,
类型:发明
国别省市:吉林;22
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