【技术实现步骤摘要】
本技术涉及微动机器人领域，特别是涉及ー种六自由度并联微动机器人。
技术介绍
并联微动机器人运动精细、分辨率高，具有亚微米至纳米级的定位精度，在精密加エ、电子封装、精细化工、光纤对接、生物和遗传工程、材料科学、毫微平面印刷和航空航天等领域具有广阔的应用前景。哈尔滨エ业大学研制了一台基于Stewart平台变异结构的六自由度并联微动机器人，北京航空航天大学研制了一台基于DELTA机构的并联微动机器人，澳门大学提出了一种正交结构的三自由度并联微动机器人，燕山大学研制了并联六自由度机器人误差补偿器，河北エ业大学研制了正交解耦结构六自由度并联微动机器人，这 些研究成果存在的主要问题是有的位移解耦性差，有的结构复杂、加工困难，有的标定困难，有的工作空间太小。
技术实现思路
本技术目的在于提供ー种六自由度微动机器人，这种微动机器人具有结构紧凑，微位移解耦，算法简单和工作空间大的优点，能实现无摩擦、无间隙、无滞后和高分辨率的六个自由度的微运动。本技术是所采用的技术方案是这种各向同性的六自由度并联微动机器人由基座、运动平台和连接二者的六条结构相同的运动支链组成。所述运动支链由平行板柔性...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.ー种六自由度并联微动机器人，包括基座(I)、运动平台(2)和连接二者的六条结构相同的运动支链(3)，所述运动支链由平行板柔性移动副(4)、压电陶瓷微位移驱动器(5)、两端分别带有柔性转动铰链(6、7 )的连杆(8 )、一端带有柔性转动铰链(9 )的推杆(10 )及两端分别带有柔性球铰(11、12)的支柱(13)组成，其特征是连杆(8)的一端通过柔性转动铰链(6)与平行板柔性...
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