【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种太阳能电池湿法刻蚀设备，特别是太阳能电池湿法刻蚀设备的排风系统。技术背景 随着太阳能电池湿法刻蚀技术的发展，漏电问题得到较好解决，同时碎片率较干法刻蚀有较大改善，且背面刻蚀后形成抛光面，有利于电性能提升。湿法刻蚀设备广泛应用于生产中，如SCHMID刻蚀机通过滚轮沾液的形式将刻蚀液带到硅片背面(非扩散面)，通过化学反应将背面及边缘的PN结去除，使正反面PN结断开，减小漏电。但其排风方式为管式排风，即在每根沾液滚轮两边均有滚轮排风管，抽除挥发的酸气，然后通过汇流连接管将酸气汇集到槽壁排风管内抽离设备。此种排风方式加速了酸的挥发，易将大量酸气及反应中间产物抽离，滚轮粘带上来的酸还没有跟硅片充分反应即被抽走，致使沾液滚轮处于较干燥状态，硅片背面及边缘的PN结不能充分反应而被完全去除，漏电增大，同时酸的耗量增大,增加生产成本。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种太阳能电池湿法刻蚀设备的排风系统，减缓酸气抽离速度，减少酸气抽离量，使沾液滚轮处于湿润状态，硅片与酸反应更充分，提高生产效率，节约成本。本技术的技术方案是一种太阳能电池湿法刻蚀设备的排风系统，包括设置在设备刻蚀槽内的沾液滚轮，设置在沾液滚轮的两边滚轮排风管，壁排风管，其中所述壁排风管固定在刻蚀槽内壁，其一端开口与刻蚀槽内气体相通，另一端与设备的抽气系统连接，所述滚轮排风管与设备的抽气系统断开。所述壁排风管的开口端与收集器活动连接，所述收集器呈喇叭形。本技术在现有的刻蚀设备上，拆除连接滚轮排风管与壁排风管的汇流连接管，使滚轮排风管失去排风的作用，只改变了排风方式，使反应中间产物能有效的达到激活溶...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池湿法刻蚀设备的排风装置，包括设置在设备刻蚀槽内的沾液滚轮(3)，设置在沾液滚轮(3)的两边滚轮排风管(2)，壁排风管(I)，其特征在于所述壁排风管(I)固定在刻蚀槽内壁，其一端开口与刻蚀槽内气体相通...
【专利技术属性】
技术研发人员：张恒，刘凯，罗存义，匡成国，徐涛，李质磊，盛雯婷，张凤鸣，
申请(专利权)人：天威新能源控股有限公司，保定天威集团有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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